真空爐的真空系統工作時，首先要發動機械泵、維持泵和擴散泵，一起翻開前級閥和維持泵閥，對擴散泵內進行抽真空。當真空度抵達體系某一設定值時，羅茨泵發動，一起旁路閥翻開，前級閥封閉，此刻對真空室進行抽低真空當擴散泵加熱至規則溫度并且真空度高于規則值時，高閥翻開，旁路閥封閉，前級閥翻開。此刻對真空室抽高真空，抵達工藝要求的真空度以后，方可進行熱處理工作。熱加工進程完結后，由熱交換器對真空室充入高純氮氣進行強制冷卻，完結整個工藝過程。

　　真空爐的電器故障分析：

　　真空爐溫度過高報警：

　　1.主要查看地點工作區溫控器參數是否正常，參閱其他正常運用中的溫控器校正所有參數。

　　2.依據電路圖查看相應工作區的固態繼電器輸出端是否被擊穿。可在停電后，用萬用表電阻檔測量固態繼電器輸出端兩點之間的電阻，正常時，電阻會有幾兆歐以上，假如被擊穿，則幾乎沒有電阻，必須按同類型換上新的。

　　3.在通電開機的狀況下，用手輕搖相應工作區內的熱電偶探頭，看看所對應的溫控器顯現是否跳動幅度很大，假如有此現象，則闡明熱電偶探頭接觸不良，需更換新的。

　　真空爐顯現溫度偏低：

　　1.首要查看地點工作區溫控器的參數是否正常，是否有輸出信號。

　　2.查看所對應工作區的熱電偶是否受損，為了驗證這些熱電偶是否良好，可將它們跟正常溫控器上的熱電偶交換接到溫控器上，觀察溫度顯現狀況。假如確實是熱電偶損壞，必須更換。

　　3.假如溫控器、熱電偶都沒問題，則需要測驗發熱管是否正常通電工作。可在通電開機后，發動加熱，依據電路圖，直接用試電筆測驗對應工作區的發熱管銜接的導線，看是否有電到。假如有電抵達，還需要用鉗表測量一下電流是否與其他工作區的不同，正常狀況差異不大。

　　4.假如沒有電抵達，則必須按電路圖對電路逐個查看。