常用真空泵的工作壓強范圍及起動壓強
真空泵種類 | 工作壓強范圍（Pa） | 起動壓強（Pa） |
活塞式真空泵 旋片式真空泵 水環式真空泵 羅茨真空泵 渦輪分子泵 水蒸氣噴射泵 油擴散泵 油蒸氣噴射泵 分子篩吸附泵 濺射離子泵 鈦升華泵 鋯鋁吸氣劑泵 低溫泵 | 1×105—1.3×102 1×105—6.7×10-1 1×105—2.7×103 1.3×103—1.3 1.3—1.3×10-5 1×105—1.3×10-1 1.3×10-2—1.3×10-7 1.3×10—1.3×10-2 1×105—1.3×10-1 1.3×10-3—1.3×10-9 1.3×10-2—1.3×10-9 1.3×10—1.3×10-11 1.3—1.3×10-11 | 1×105 1×105 1×105 1.3×103 1.3 1×105 1.3×10 <1.3×105 1×105 6.7×10-1 1.3×10-2 1.3×10 1.3—1.3×10-1 |
