2. 靈敏度 Sensitivity

能產生一個輸出運動的最小輸入，通常用來表征手動位移臺，也可以定義為輸入驅動和輸出運動的比值，這個術語經常和分辨率混淆。
3. 精度 Accuracy
對于一個給定的輸入，實際位置和理想位置之間的差距。運動系統的精度跟實際位置的測量方式有很大的關系，所以對于開環設備中精度并不是一個很有意義的參數。
4. 精度 Absolute Accuracy
精度是指系統針對命令輸入或理想輸入的輸出，更直觀的說應該叫不確定度。當要求一個運動系統精確運動 10mm，而實際上只運動了 9.99mm，則不確定度是 0.01mm。位移臺的軸線和測量尺的軸的角度誤差會導致一個與角度呈余玄關系的單調遞增誤差，這就是常說的余玄誤差。
5. 精確度 Precision
精度是指對相同輸入，覆蓋 95%運動偏移的變化輸出位置的變動范圍。精確度也叫重復定位精度。精度和精確度是不同的概念。
6. 重復定位精度 Repeatability
重復定位精度是指移動系統多次可到達一個既定點的能力。通常所說的重復定位精度指的是單向重復定位精度，單向重復定位精度是指運動系統僅在一個方向上做重復增量運動。這個參數避開了系統的空回和滯后。
因此一個更重要的定義是雙向重復定位精度，即無論運動方向多次嘗試達到一個嚴格意義點的能力。
7. 空回 Backlash
空回是指不至引起反向可測量輸出的輸入量。軸向預緊不夠或傳動鏈元件的嚙合不好會導致空回，例如嚙合齒輪上的齒不好。空回是相對穩定的，并且可以用好的控制器補償。
8. 誤差 Error
誤差是指實測的品質參數和理想的/需要的結果之間的差值。誤差主要有兩個方面：軸向誤差，如精度，與沿著運動方向的參數有關；非軸向誤差，如傾斜，與約束的自由度方向相關。
9. 偏心和擺動 Eccentricity and Wobble
偏心有時也稱同心度，旋臺的偏心是指當旋臺旋轉時它的旋轉中心與平均位置的偏差。如果一個旋臺是同心的，那么在旋轉時就沒有偏心。對于旋臺，擺動是旋轉軸的角度偏差。
10. 跳動 Runout
跳動是指非軸向線性誤差。這是位移臺的理想直線運動和實測直線運動之間的偏差。跳動有兩個正交分量：表征水平方向偏差的直線度和表征垂直方向偏差的平面度。
11. 傾斜和晃動 Tilt and Wobble
傾斜和晃動是指非軸向角度誤差。它是指理想的運動直線和實測的運動臺之間的偏移量。傾斜和晃動有三個相互垂直的分量，一般指的是轉動、俯仰和偏擺。這三個分量決定了由幾何形狀引起的所有運動系統誤差。
12. 負載能力 Load Capacity
對于位移臺來說，負載能力是指所允許的作用于位移臺臺面中心且與運動方向和工作臺面垂直的合力的大小。對于旋轉臺來說，合力的方向是沿著旋轉軸的。若負載不在工作臺的中心，則負載須適當減少。
13. 法向負載能力 Normal Load Capacity
法向負載能力是指可直接作用于移動臺面上中心的負載，負載量主要受限于工作臺軸承所能承受的負載能力。