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純水和超純水的水質標準

2026年02月05日 14:31:39      來源:滕州魯南新科儀器有限公司 >> 進入該公司展臺      閱讀量:10

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純凈水,指的是不含雜質的H2O

從學術角度講,純凈水又稱純水、高純水,是指化學純度的水,其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域,但其對水質純度要求相當高,所以一般應用普遍的還是電子工業。純水和超純水一般都沒有統一的標準,通常水的純度是以其電阻率(或電導率)來表證;也有根據用戶的需求來規定。

一般意義上講純水至少應該是去離子水,即水中大部分陰陽離子是應該被去的。懸浮物等的含量也應是相當低的。

目前水質要求高的超純水是半導體行業,根據半導體芯片的大小和線徑的不同水質要求也不一樣,其超純水的水質指標如下:電阻率大于18.2兆歐(25攝氏度);TOC(總碳)小于110ppbDO(溶解氧)小于110ppbParticle(顆粒):0.05微米小于200/升;離子含量大部分是小于2050ppt;檢測:無。但對于高純水來說這是不確切的,應檢測純水中某項雜質的含量來表證。這是因為:影響高純水電阻率的主要因素是PH,而不是ppt10-11M級雜質,電阻率是衡量水中電解質總和的參數,不能表證某一單項雜質的含量,而對于高純分析所關心的不是雜質的總含量,而是我們所要分析的某單項雜質該元素的含量,即空白值,這顯然不能由電阻率給出的,總之,對于高純水如果仍以電阻率衡量其水質,將會造成錯覺。因此,我們以無焰原子吸收光譜法檢查純水的單項雜質含量來表證其水質,這樣可確切地反映水的純度。而高純水的標準為:GB1146.1-89GB1146.11-89[168],目前我國高純水的標準將電子級水分為五個級別:Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級,該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。

高純水的水質標準中所規定的各項指標的主要依據有:

1微電子工藝對水質的要求;

2制水工藝的水平;

3檢測技術的現狀。

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