RTO蓄熱式焚燒爐

排放自工藝含VOCs的廢氣進入雙槽RTO，三向切換風閥(POPPET VALVE)將此廢氣導入RTO的蓄熱槽(Energy Recovery Chamber)而預熱此廢氣，含污染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱后進入燃燒室(Combustion Chamber)，VOCs在燃燒室被氧化而放出熱能于第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗。陶塊被加熱,燃燒氧化后的干凈氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高于RTO入口溫度， 三向切換風閥切換改變RTO出口/入口溫度。 如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時， RTO即不需燃料， 例如RTO熱回收效率為95%時，RTO出口僅較入口溫度高25℃而已。

力皇RTO工藝圖

蓄熱式催化劑焚燒爐(RCO) 

排放自工藝含VOCs的廢氣進入雙槽RCO，三向切換風閥(POPPET VALVE)將此廢氣導入RCO的蓄熱槽(Energy Recovery Chamber)而預熱此廢氣，含污染的廢氣被蓄熱陶塊漸漸地加熱后進入催化床(Catalyst Bed)，VOCs在經催化劑分解被氧化而放出熱能，于第二蓄熱槽中之陶塊，用以減少輔助燃料的消耗，陶塊被加熱,燃燒氧化后的干凈氣體逐漸降低溫度，因此出口溫度略高于RCO入口溫度，三向切換風閥切換改變RCO出口/入口溫度， 如果VOCs濃度夠高，所放出的熱能足夠時，RCO即不需燃料，例如RCO熱回收效率為95%時，RCO出口僅較入口溫度高25℃而已。

催化劑焚燒爐( Catalytic Oxidizer )

催化劑焚燒爐的設計是依廢氣風量，VOCs濃度及所需知破壞去除效率而定，操作時含VOCs的廢氣用系統風機導入系統內的換熱器，廢氣經由換熱器管側(Tube side)而被加熱后，再通過燃燒器,這時廢氣已被加熱至催化分解溫度，再通過催化劑床，催化分解會釋放熱能，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣，之后此一熱且經凈化氣體進入換熱器之殼側(shell side)將管側(tube side)未經處理的VOC廢氣加熱，此換熱器會減少能源的消耗，最后凈化后的氣體從煙囪排到大氣中。

直燃式焚燒爐( Thermal Oxidizer )

直燃式焚燒爐的設計是依廢氣風量，VOCs濃度及所需知破壞去除效率而定。操作時含VOCs的廢氣用系統風機導入系統內的換熱器，廢氣經由換熱器管側(Tube side)而被加熱后，再通過燃燒器，這時廢氣已被加熱至催化分解溫度(650~1000℃)，并且有足夠的留置時間(0.5~2.0秒)。這時會發生熱反應，而VOCs被分解為二氧化碳及水氣，之后此一熱且經凈化氣體進入換熱器之殼側(shell side)將管側(tube side)未經處理的VOC廢氣加熱,此換熱器會減少能源的消耗(甚至于某ㄧ適當的VOCs濃度以上時便不需額外的燃料)，最后,凈化后的氣體從煙囪排到大氣中。

直接燃燒焚燒爐( Direct Fired Thermal Oxidizer-DFTO )

有時直接燃燒焚燒爐源于后燃燒器(After-Burner)，直接燃燒焚燒爐使用經特別設計的燃燒器以加熱高濃度的廢氣到ㄧ預先設的溫度，于運轉時廢氣被導入燃燒室(Burner Chamber)，燃燒器將VOCs及有毒空氣污染物分解為無毒的物質(二氧化碳及水)并放出熱,凈化后的氣體可再由一熱回收系統以達節能的需求，直接燃燒焚燒爐可達99%碳氫化合物破壞去除率，為達此去除率，高溫的廢氣區在爐內保持一定的滯留時間，在入口處也須讓廢氣有足夠的擾流和氧產生充分的混合，充分的擾流不只提高去除破壞率，更是為安全考慮。