一、臺式X熒光光譜儀的工作原理

臺式X熒光光譜儀工作原理和手持式X熒光光譜儀工作原理有異曲同工之妙，但又有所不同，二者都是 當X射線管發出的一次X射線照射到樣品上，使樣品發射出元素的特征X射線，通過探測器來采集X射線的信號，從而對樣品進行定性及定量分析。

以EDX-6000臺式X熒光光譜儀器組成為例，簡單介紹能量色散型X熒光光譜儀的主要構成，包括高壓單元、X光管、準直器、樣品盤、探測器、數據處理系統等，如下結構示意圖。

能量色散型X熒光光譜儀工作原理圖

X射線與物質的相互作用，存在有十幾種過程。其中幾率較大的主要作用過程為光電效應、康普頓散射效應、電子對效應、瑞利散射效應。對于低能射線，這個過程中無電子對效應產生。

當樣品中的元素受光子照射，如光子能量大于原子中的內層電子束縛能，則電子被擊出，產生空穴，這時的原子變成激發態。外層電子從高能軌道躍遷到低能軌道來填充軌道空穴，就會以X射線的形式釋放出能量，原子恢復到穩態。

每種元素都有相應的特征X射線，不同元素的特征X射線的能量不同。測定樣品不同特征X射線的能量可以準確判別出樣品所含的不同元素種類；測定樣品中元素特征X射線強度反映了相對應元素的含量。

特征熒光X射線的產生

一、臺式X熒光光譜儀的工作特點

（1）無損檢測。在無標準樣品時亦可準確分析。

（2）測量時間比化學方法短，不需要輔助材料。

（3）計算機進行數據處理，分析快速準確。

（4）高分辨率圖形即時顯示，由不同色塊加以判斷區分。

（5）打印機可連續打印測量報表。

（6）對電氣電子設備元器件中的鉛Pb、汞Hg、鎘Cd、鉻Cr、溴Br等元素進行定量分析。