X熒光光譜儀可分為三類(lèi)，一類(lèi)是偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF、波長(zhǎng)色散型(WD-XRF)X射線(xiàn)熒光光譜儀與能量色散型(ED-XRF)X射線(xiàn)熒光光譜儀三種，他們無(wú)論是在原理上還是在儀器結(jié)構(gòu)或者是功能上都有所不同。下面我們就三類(lèi)儀器的區(qū)別作簡(jiǎn)單對(duì)比。

1、原理區(qū)別

X-射線(xiàn)熒光光譜法，是用X-射線(xiàn)管發(fā)出的初級(jí)線(xiàn)束輻照樣品，激發(fā)各化學(xué)元素發(fā)出二次譜線(xiàn)(X-熒光)。波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF)是用X射線(xiàn)直接照射樣品發(fā)射X熒光，分光晶體將熒光光束色散后，測(cè)定各種元素的特征X-射線(xiàn)波長(zhǎng)和強(qiáng)度，從而測(cè)定各種元素的含量;而普通能量色散型熒光光譜儀(ED-XRF)是通過(guò)濾光片得到背景相對(duì)較低的X射線(xiàn)，照射樣品發(fā)射X熒光，X熒光借助高分辨率敏感半導(dǎo)體檢測(cè)器與多道分析器將未色散的X-射線(xiàn)按光子能量進(jìn)行色散，根據(jù)各元素特征能量的強(qiáng)度高低來(lái)測(cè)定各元素的量;而偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF是采用偏振次級(jí)靶，得到單色的X射線(xiàn)照射樣品，再X熒光借助高分辨率敏感半導(dǎo)體檢測(cè)器與多道分析器將未色散的X-射線(xiàn)按光子能量進(jìn)行色散，根據(jù)各元素特征能量的強(qiáng)度高低來(lái)測(cè)定各元素的量，這就大大提高了儀器的信噪比，提高了能譜儀分析輕元素的能力。

2、結(jié)構(gòu)和功能方面的區(qū)別

波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，一般由光源(X-射線(xiàn)管)、樣品室、分光晶體和檢測(cè)系統(tǒng)等組成。為了準(zhǔn)確測(cè)量衍射光束與入射光束的夾角，分光晶體是安裝在一個(gè)精密的測(cè)角儀上，還需要一龐大而精密并復(fù)雜的機(jī)械運(yùn)動(dòng)裝置。由于晶體的衍射，造成強(qiáng)度的損失，需要作為光源的X射線(xiàn)管的功率要大，一般為2～3千瓦。但X射線(xiàn)管的效率極低，只有1%的電功率轉(zhuǎn)化為X射線(xiàn)輻射功率，大部分電能均轉(zhuǎn)化為熱能產(chǎn)生高溫，所以X射線(xiàn)管需要專(zhuān)門(mén)的冷卻裝置(水冷或油冷)，這就使得儀器結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜，硬件成本高，因此波譜儀的價(jià)格比能譜儀要高的多。

普通能量色散型X熒光光譜儀(ED-XRF)，一般由光源(X-射線(xiàn)管)、濾光片、樣品室和檢測(cè)系統(tǒng)等組成，與波長(zhǎng)色散型X熒光光譜儀(WD-XRF)的區(qū)別在于它不用分光晶體，機(jī)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，價(jià)位比較低，但輕元素的檢出限較高。

偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF，不采用濾光片，而采用偏振次級(jí)靶，其它與普通能量色散X熒光光譜儀(ED-XRF)相似，結(jié)構(gòu)也比較簡(jiǎn)單，價(jià)位也遠(yuǎn)低于波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF)，但在輕元素的檢出限方面接近波長(zhǎng)色散型熒光光譜儀(WD-XRF)。

X熒光光譜儀

三、WD-XRF與ED-XRF的簡(jiǎn)明比較

3.價(jià)格方面的對(duì)比

波長(zhǎng)色散價(jià)格X熒光譜儀又分為單道和多道兩種，單道X熒光一般在120-150萬(wàn)元，而多道X熒光一般在180-250萬(wàn)元。

能量色散X熒光光譜儀一般分濾光片選擇激發(fā)性和次級(jí)靶選擇激發(fā)型，濾光片型儀器受濾光片位置和種類(lèi)的限制，應(yīng)用范圍有很大的局限性，況且這類(lèi)儀器一般采用Si-pin探測(cè)器分辨率也不夠高，不適合復(fù)雜基體樣品的分析;次級(jí)靶選擇激發(fā)型儀器，由于一個(gè)次級(jí)靶可以有效元素周期表中元素范圍很寬，且這類(lèi)儀器一般SDD探測(cè)器，具有比較高的分辨率，適合于復(fù)雜樣品的分析，擁有這樣儀器的廠家只有德國(guó)斯派克和荷蘭的帕納克(原來(lái)的飛利浦)，但帕納克儀器加110KV的的高壓，注重超重元素的分析，而輕元素(原子序數(shù)比較小的元素)的分析不是他們的強(qiáng)項(xiàng)；斯派克的儀器加50KV的高壓，關(guān)鍵是采用了HOPQ(高溫?zé)峤馐?靶，大大提高了輕元素的信噪比，可以有效的分析輕元素，效果接近波長(zhǎng)色散X熒光。