X熒光光譜儀有兩種基本類型：波長色散型（WD-XRF）和能量色散型（ED-XRF）,以X熒光的波粒二象性中波長特征為原理的稱為波長色散型，以能量特征為原理的稱為能量色散型。

能量色散型原理

能量色散型熒光光儀（ED-XRF）是借組高分辨率敏感半導(dǎo)體檢查儀器與多道分析器將未色散的X射線熒光按光子能量分離X色線光譜線，根據(jù)各元素能量的高低來測定各元素的量，由于原理的不同，故儀器結(jié)構(gòu)也不同。

波長色散型原理

X射線熒光光譜法，是用X射線管發(fā)出的初級線束輻照樣品，激發(fā)各化學(xué)元素發(fā)出二次譜線（X-熒光）。 波長色散型熒光光儀（WD-XRF）是用分光近體將熒光光束色散后，測定各種元素的特征X射線波長和強(qiáng)度，從而測定各種元素的含量。

波長色散X熒光光譜儀

也就是說，能量色散型光譜儀檢測的x射線與之不同，當(dāng)用高能電子照射樣品時，入射電子被樣品中的電子減速，會產(chǎn)生寬帶連續(xù)X射線譜。如果入射光束為X射線，樣品中的元素內(nèi)層電子受其激發(fā)，可產(chǎn)生特征X射線，稱為二次X射線，或稱為X射線熒光（XRF）。通過分析樣品中不同元素產(chǎn)生的熒光X射線波長或能量和強(qiáng)度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達(dá)到定性和定量分析的目的。

能量色散型光譜儀檢測的是x射線，而波長色散型檢測的是二次x射線，也就是x射線熒光。兩者的技術(shù)不同，儀器結(jié)構(gòu)和應(yīng)用也不同。