光譜儀的精度業(yè)內(nèi)人士通常理解為儀器的精密度,包括短期精密度和長期精密度,但對于使用者常常理解為準(zhǔn)確度，實(shí)際兩者是可以統(tǒng)一的，精密度好的儀器，準(zhǔn)確度一定能調(diào)試好，反之則不能。

光譜儀的精密度與儀器的靈敏度關(guān)聯(lián)度非常高，一般情況高靈敏度儀器精密度也高，比如一條譜線實(shí)際光強(qiáng)為10lm，假設(shè)探測器靈敏則轉(zhuǎn)化為1000µA,探測器不靈敏則可能為100µA，示值就有10倍的差距，就像用米尺去測工件，誤差在毫米以上。當(dāng)然還有數(shù)值處理方法和人為因素，在這里不討論。那么靈敏度與哪些因素有關(guān)呢？本文歸納以下幾點(diǎn)：

（1）光源的特性，其中包括光源能量、頻率特性、單火花脈沖能量、放電波形等，因此良好的光源一定是千百次對不同材料試驗(yàn)調(diào)整的結(jié)果；

（2）光柵的衍射效率，光柵的制造的特點(diǎn)是個(gè)體的差異性很大，少見兩塊衍射曲線*一樣的光柵，這是光柵的制造工藝決定的。高的衍射效率有效信號損失的就小，才能將更真實(shí)的信號呈現(xiàn)在探測器接收面；

（3）探測器的性能，一個(gè)靈敏且穩(wěn)定的探測器是對信號強(qiáng)度真實(shí)反映的條件；

（4）軟件數(shù)學(xué)模型，一個(gè)真實(shí)信號不僅僅是剔除背景，而是瞬態(tài)和趨勢的即時(shí)展現(xiàn)，尤其大數(shù)據(jù)高速采樣，已經(jīng)突現(xiàn)軟件建模的數(shù)值計(jì)算技巧和深奧數(shù)理結(jié)合的重要性。