光譜儀器是掃描型的儀器，當儀器運行時，許多部件在動作，如測角儀、晶體轉換器、準直器等，經常動作的部件容易出現問題，另外控制和探測各個部件動作的電子線路板也可能出現問題。 光譜儀器都裝有故障診斷軟件，分布于儀器各個部位的傳感器將儀器的狀態信號傳輸到計算機，供儀器操作者和維修工程師判斷儀器是否正常，找到產生故障的部位。但是有些在測量過程中出現的問題靠診斷軟件是發現不了的，而且診斷軟件僅僅提示產生了故障，要找到產生故障的原因，要求維修人員對儀器的結構比較熟悉，且具有一定的維修經驗。
光譜儀器的工作原理：它是利用原子或離子在一定條件下受激而發射的特征光譜來研究物質化學組成的分析方法。根據激發機理不同，原子發射光譜有3種類型：
①原子的核外光學電子在受熱能和電能激發而發射的光譜，通常所稱的原子發射光譜法是指以電弧、電火花和電火焰為激發光源來得到原子光譜的分析方法。以化學火焰為激發光源來得到原子發射光譜的，專稱為火焰光度法。
②原子核外光學電子受到光能激發而發射的光譜，稱為原子熒光。
③原子受到X射線光子或其他微觀粒子激發使內層電子電離而出現空穴，較外層的電子躍遷到空穴，同時產生次級X射線即X射線熒光。
