BET 比表面積是物理吸附分析儀所能計算的參數中*容易得到的一個，因為它的基礎計算數據是取自吸附等溫線多層吸附的飽和階段，也是等溫線*平緩的一段。但是，其*終結果受到諸多因素影響，這就造成了在不同儀器和不同實驗室數據比對時的誤差，誤差的來源包括如下原因：
1) 與樣品孔結構的復雜程度有關：孔型越簡單，結果越容易重現；
2) 與測試儀器的類型有關：一般來說，靜態容量法測得結果比動態色譜法測得的結果更加準確，這是由于前者測得的是吸附數據，后者得到的是脫附數據。若樣品中存在不規則的孔，氮氣分子進入孔道后，脫附時，由于出口孔頸很小，就有可能因氣穴效應或孔道阻塞不能蒸發出來，造成脫附的數據失真。
3) 與吸附氣體種類有關：對于含微孔樣品，不同的氣體大小不同，在孔道中擴散速度不同，氣體分子的極性與孔壁作用的程度不同，都會影響*終計算的準確性。
4) 與樣品預處理時間有關：以氫氧化鎳為例，它的處理時間至少需要8 小時，由于其干燥過程容易板結，故處理溫度不宜過高（一般90 度），這樣就導致處理溫度不夠，需要加長脫氣時間來彌補。
5) 與預處理的脫氣真空度有關：真空度越大，脫氣越干凈，時間越短。樣品表面處理不干凈，會造成測試結果偏小。
6) 與稱樣量多少有關：樣品量的多少和他自身的比表面的大小有關的，一般比表面越大，稱樣量越少，反之越多。選擇合適的稱樣量是很有必要的，這其中既要考慮減少稱樣誤差，還要考慮稱樣量和脫氣時間的關系。
7) 與樣品的處理溫度有關：以氧化鋁為例，它的處理溫度一般是300°C。若降低其處理溫度，容易造成測試結果偏小，且BET 測試曲線線性很差。
8) 與在吸附曲線上的取點計算范圍有關。
