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走刀路線就是刀具在整個加工工序中的運動軌跡，它不但包括了工步的內容，也反映出工步順序。走刀路線是編寫程序的依據之一。在確定走刀路線時主要考慮以下幾點：（1）尋求短加工路線，減少空刀時間以提高加工效率...

軟烘的目的是去掉光刻膠中的溶劑、增強光刻膠的粘附性、釋放旋轉涂膠產生的內應力、改善線寬控制、防止光刻膠粘附到其他器件上。軟烘在真空熱板上進行，軟烘設備工作原理如圖2.17所示，硅片放在真空熱板上，熱量...

在半導體制造中，干法刻蝕是用來去除表面材料的主要的刻蝕方法。干法刻蝕是把硅片表面暴露于氣態中產生的等離子體，等離子體通過光刻膠中開出的窗口與硅片發生物理或化學反應，從而去掉暴露的材料。一個等離子體干法...

圖形化工藝是半導體工藝過程中重要的工序之一，它是用來在不同的器件和電路表面上建立平面圖形的工藝過程。這個工藝過程的目標有兩個，首先是在晶圓表面上產生圖形，這些圖形的尺寸在集成電路或器件設計階段建立；第...

芯片廠中通常分為擴散區、光刻區、刻蝕區、離子注入區、薄膜生長區和拋光區6個生產區域：?擴散區是進行高溫工藝及薄膜積淀的區域，主要設備是高溫爐和濕法清洗設備；②光刻區是芯片制造的心臟區域，使用黃色熒光管...

刻蝕是用化學或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過程?？涛g是在硅片上進行圖形轉移的后主要工藝步驟。半導體刻蝕工藝有兩種基本方法：干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法，濕...

1.適應性強，適合加工單件或小批量復雜工件在數控機床上加工不同形狀的工件，只需重新編制新工件的加工程序，就能實現新工件的加工。2.加工精度高，生產質量穩定數控機床的脈沖當量普遍可達0.001mm/p，...

刻蝕是用化學或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過程。刻蝕是在硅片上進行圖形轉移的后主要工藝步驟。半導體刻蝕工藝有兩種基本方法：干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法，濕...

蒸鍍就加熱方式差異，分為電阻式(thermalcoater)與電子槍式(E-gunevaporator)兩類機臺。前者在原理上較容易，就是直接將準備熔融蒸發的金屬以線材方式掛在加熱鎢絲上，一旦受熱熔融...

干蝕刻是一類較新型，但迅速為半導體工業所采用的技術。其利用電漿(plasma)來進行半導體薄膜材料的蝕刻加工。其中電漿必須在真空度約10至0.001Torr的環境下，才有可能被激發出來；而干蝕刻采用的...

（1）氧化層的成長速率不是一直維持恒定的趨勢，制程時間與成長厚度之重復性是較為重要之考量。（2）后長的氧化層會穿透先前長的氧化層而堆積于上；換言之，氧化所需之氧或水汽，勢必也要穿透先前成長的氧化層到硅...

滾齒是刀齒作連續的旋轉切削、切削速度較高，插齒是刃齒作往復運動，限制了切削速度，故滾齒生產率比插齒烙高，滾齒機可以加工直齒、斜齒圓柱齒輪和蝸輪，但不能加工內齒輪和相距太近的多聯齒輪；插齒時播齒刀沿齒全...

定位基準的精度對齒形加工精度有直接的影響。軸類齒輪的齒形加工一般選擇孔定位，某些大模數的軸類齒輪多選擇齒輪軸頸和一端面定位。盤套類齒輪的齒形加工常采用兩種定位基準。1）內孔和端面定位選擇既是設計基準又...

齒輪本身的制造精度，對整個機器的工作性能、承載能力及使用壽命都有很大的影響。根據其使用條件，齒輪傳動應滿足以下幾個方面的要求。（1）傳遞運動準確性我們要求齒輪能較準確地傳遞運動并使傳動比恒定。即要求齒...

在加工之前，為了保證齒輪工作的可靠性，提高其使用壽命，齒輪的材料及其熱處理應根據實際的工作條件和材料的特點來選取。對齒輪材料的基本要求是：應使齒面具有足夠的硬度和耐磨性，齒心具有足夠的韌性，以防止齒面...

1）主運動滾刀的旋轉運動。2）展成運動是保證滾齒刀和被切齒輪的轉速必須符合所模擬的一對齒輪的嚙合運動關系。即滾刀轉一轉，工件轉K/Z轉。其中：K是滾刀的頭數，Z為齒輪齒數。3）垂直進給運動要切出齒輪的...

這個階段的目的，在于修正齒輪經過淬火后所引起的齒形變形，進一步提高齒形精度和降低表面粗糙度，使之達到終的精度要求。在這個階段中首先應對定位基準面（孔和端面）進行修整，因淬火以后齒輪的內孔和端面均會產生...

在加工之前，為了保證齒輪工作的可靠性，提高其使用壽命，齒輪的材料及其熱處理應根據實際的工作條件和材料的特點來選取。在些條件下，對齒輪材料的基本要求是：應使齒面具有足夠的硬度和耐磨性，齒心具有足夠的韌性...

滾齒是刀齒作連續的旋轉切削、切削速度較高，插齒是刃齒作往復運動，限制了切削速度，故滾齒生產率比插齒烙高，滾齒機可以加工直齒、斜齒圓柱齒輪和蝸輪，但不能加工內齒輪和相距太近的多聯齒輪；插齒時播齒刀沿齒全...

滾齒是目前應用很廣的切齒方法，滾齒加工原理是滾齒刀和齒坯模擬一對螺旋齒輪作嚙合運動。滾齒刀好比一個齒數很少（一至二齒）齒很長的齒輪，形似蝸桿，經刃磨后形成一排排齒條刀齒。因此，可把滾齒看成是齒條刀對齒...