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沈陽科晶自動化設備有限公司
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微型PECVD系統
高真空快速CVD系統OTF-1200X-
1200℃雙管滑動式四通道混氣CVD系統
高真空CVD系統OTF-1200X-80
快速升溫CVD系統RTP-1000-F3
1700℃兩通道混氣高真空CVD系統GS
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4路質子混氣管式PECVD系統
帶滑動法蘭三溫區CVD系統OTF-120
高真空三溫區CVD系統OTF-1200X
開啟式單溫區低真空CVD系統OTF-12
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