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雙軸晶圓切割機8020系列概要

ADT 8020切割機有兩個對向的主軸，可同時切割晶圓，且產(chǎn)量高。這種高精度系統(tǒng)可切割直徑8"的工件，性能高，運行成本低。

雙軸晶圓切割機8020系列特點：
靈活：支持3"外徑的有輪轂和無輪轂刀片
或 kW高功率主軸（適合嚴苛應用）
高級視覺系統(tǒng)，支持連續(xù)變焦縮放
19英寸觸摸屏顯示器，直觀操作界面

雙軸晶圓切割機8020系列重要特點：
氣懸浮軸（X）
快速自動對齊和切割定位，提高產(chǎn)量
自動刀痕檢測和質(zhì)量分析，實現(xiàn)高精度
流程數(shù)據(jù)記錄和統(tǒng)計分析
使用鎖定式主軸，更換刀片快速簡單
SECS/GEM平臺就緒
可接近系統(tǒng)所有區(qū)域，便于維護

易于使用：
8020使用ADT直觀的新圖形用戶界面（NUI）進行操作，配備了兩個觸摸屏：19"主屏幕和17"維護屏。維護屏協(xié)助執(zhí)行系統(tǒng)設置過程、刀片更換和基本的維護操作。