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OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機特點：
GNX200B擁有BG研磨技術(shù)。
日本機械學會授予岡本標準傳送方式及向下研磨方法技術(shù)獎
主軸機械精度可調(diào)
岡本自產(chǎn)鑄金一體化結(jié)構(gòu)，不易老化，精度持久
潤滑系統(tǒng)有完善防護，避免異物進入造成磨損
適用晶圓尺寸： 4"、5"、6"、8" 晶圓厚度： 1000μm
可切換全自動、半自動操作模式
17 寸觸控操作與監(jiān)控屏，監(jiān)控氣壓、電流、水流、厚度等
研磨耗材損耗小，加工成本低廉
研磨硅屑細小，沖洗更干凈

OKAMOTO GNX200B晶圓研磨機規(guī)格參數(shù)：
加工直徑：Ф200㎜
主軸轉(zhuǎn)速范圍：0~3600rpm
主軸驅(qū)動電機功率：/4kW
主軸進給速度范圍：1~999μm/min
主軸數(shù)：2
工作盤轉(zhuǎn)速范圍：1~300rpm
研磨輪尺寸：Ф250㎜
設(shè)備整重：3900kg