晶圓解鍵合機(jī) Wafer Debonding系列介紹:
晶圓解鍵合機(jī)應(yīng)用于晶圓臨時(shí)性鍵合/解鍵合(Wafer Bonding/Debonding)工藝。
晶圓解鍵合機(jī) Wafer Debonding系列特點(diǎn):
4"-8"/8"-12" 晶圓適用,可應(yīng)對(duì)薄晶圓的解鍵合。
解鍵合機(jī)智能測繪料籃內(nèi)晶圓,兼容晶圓料籃、晶圓盒裝卸料。
解鍵合機(jī)可對(duì)已鍵合晶圓進(jìn)行自動(dòng)校正。
可定制真空熱壓/UV/激光等方式實(shí)現(xiàn)解鍵合(Wafer Debonding)。
晶圓解鍵合機(jī)配有高精度機(jī)械手,可自動(dòng)撕除晶圓臨時(shí)鍵合所用到的膠膜。
解鍵合機(jī)可自動(dòng)為晶圓貼覆切割膜。
可選配嵌入式紫外線照射模塊。
工控機(jī)+Windows系統(tǒng)。
SECS/GEM 或簡易聯(lián)網(wǎng)能力。
晶圓鍵合機(jī) Wafer Debonding 可用于超薄晶圓的臨時(shí)性鍵合
產(chǎn)品二維碼| 參 考 價(jià): | 面議 |
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- 品牌:
- 產(chǎn)品類別:其他電子產(chǎn)品制造設(shè)備
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