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XD Laser™激光干涉儀簡介

XD Laser™激光干涉儀體積小，重量輕，可以直接安裝到機床導軌上，XD Laser™激光干涉儀主要由穩頻激光器，干涉鏡和6D傳感器組成，從激光發出的激光光束經過干涉后，被6D傳感器內的分光鏡分成三束，一束光經維角反射棱鏡反射后返回干涉干涉儀與參考光束相干涉產生干涉條紋，經光學相位探測器識別后進行電子計數，記錄準確的長度位置，**束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內的橫向光電二極管測得，第三束光用作裝在6D傳感器內的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。

為了保證激光光束的穩定性，測量儀在結構的設計以及激光器的選擇方面都做了仔細周密的考慮，以使測量儀的橫向和角度漂移量都降到*小，從而保證測量儀的長期穩定性，測量儀配有自動氣壓，環境溫度補償器，自動校正環境變化對激光波長及長度測量的影響。測量儀還配有站們設計的多重數字濾波器，使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到*低。

XD Laser™激光干涉儀技術參數

5D/6D標準型：

1. 線性：0.5ppm .

2. 測量范圍：40米(1D可選80米)

3. 線性分辨力：0.001um.

4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值

5. *大范圍：800角秒

6. 滾動角精度：1.0角秒

7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值

8. 直線度*大范圍：500um

9. 垂直度精度：1角秒

10. 溫度精度：0.2攝氏度

11.濕度精度：5%

12.壓力精度：1mmHg

主要特點：

1. 同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角

2. 設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器

3. 可選的無線遙控傳感器*長的控制距離可到25米

4. 可測量速度、加速度、振動等參數，并評估機床動態特性。

5. 全套系統重量僅15公斤，設計緊湊、體積小，測量機床時不需三角架

6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調整步驟，減少了調整時間

XD Laser™激光干涉儀工作流程圖

XD Laser™激光干涉儀細節圖

XD Laser™激光干涉儀界面圖