鄭州科佳電爐有限公司位于鄭州電子商務產業園，公司是專業做各種高溫加熱設備的生產廠家，產品主要用于CVD石墨烯制備設備、熒光粉燒結設備、氧化鋯生物陶瓷燒結、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結、稀有金屬的區域提純等研究發展方向。公司主營產品有箱式馬弗爐，管式電阻爐，真空爐，氣氛爐，CVD系統，牙科爐，升降爐，軌道爐等
產品描述：
KJ-1200-S6012LK1-H多路混氣管式PECVD系統，由KJ-T1200單溫區管式爐、真空系統、質子流量計、射頻電源系統系統組成
技術參數：
產品名稱 | |
滑道管式爐部分 | |
產品型號 | KJ-1200-S6014LK1-H |
爐管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
工作溫度 | 1100℃ |
zui高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
溫控系統 | 30段PID微電腦可編程自動控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
zui快升溫速率 | 30oC/M |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制） |
zui大功率 | 3KW |
氣 密 性 | 4.03×10-3Pa |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
滑軌尺寸 | 鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度：1200mm |
法蘭接頭 | 標配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機械壓力表和不銹鋼截止閥。 |
密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉。 |
爐 管 | 石英爐管 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
真空系統部分 | |
名稱 | 進口真空泵 |
極限壓力(mbar/ Torr) | 2.0 x 10-3 /1.5 x 10-3 |
極限壓力GB I(mbar/ Torr) | 3.0 x 10-2 /2.3 x 10-2 |
名稱 | 數字真空計 |
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名稱 | 4路質子流量計 |
型號 | D07-26 |
主要參數 | 基準源：+5.00V±0.1% 10mA~供電源220V±10% 50Hz |
射頻器部分 | |
名稱 | 射頻電源 |
0-500W | |
工作頻率 RF | 13.56MHZ |
匹配時間 | 3-5S |
傳輸效率 | ＞90% |
匹配器電源 | AC187V-253V |
UHF | |
控制模式 | 手動/自動 |
匹配阻抗范圍 | 實部0-88Ω 虛部-j200 ~~+j200(可根據負載調節阻抗)
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說明：1、本產品的規格參數僅供參考，以具體產品實際參數為準，請與銷售及咨詢客服人員。
2、產品圖片及外觀尺寸在不斷研發更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標準產品外、我公司可根據客戶要求，進行設計生產，具體與銷售人員
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