科佳電爐立足于化驗設備產品的研發制造，全面開發生產氣氛爐，管式爐，量熱儀，測硫儀，馬弗爐，高溫箱式爐，管式爐，烤瓷爐，箱式馬弗爐，真空爐，管式爐CVD系統，升降爐產品。
產品描述：
KJ-1200-S6014LK1-H多路混氣管式PECVD系統，由KJ-T1200單溫區管式爐、真空系統、質子流量計、射頻電源系統系統組成
技術參數：
產品名稱 | 管式PECVD系統(CE認證) |
管式爐部分 | |
產品型號 | KJ-1200-S6014LK1-H |
爐管尺寸 | Φ60mmX1400mm |
工作溫度 | 1100℃ |
zui高溫度 | 1200℃ |
溫控方式 | K型熱電偶 |
溫控系統 | 30段PID微電腦可編程自動控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示） |
溫控精度 | ±1℃ |
溫控保護 | 具有超溫和斷偶保護功能 |
zui快升溫速率 | 30ºC/M |
加熱元件 | 含鉬電阻絲 |
工作電壓 | AC 220V 單相 50HZ （電路電壓用戶可選擇定制） |
zui大功率 | 3KW |
爐膛材料 | 氧化鋁多晶纖維 |
密封系統 | 該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸，氣密性好可保證12小時壓力表指針不偏轉。 |
爐 管 | 石英爐管 |
爐殼溫度 | ≤45℃ |
真空系統部分 | |
名稱 | 高真空分子泵 |
主要參數 | 高真空分子泵組，高真空復合真空計 前級泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用KF25系列波紋管和真空擋板閥連接
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真空顯示 | 復合真空計 |
冷卻系統 | 循環水冷機 |
氣路系統部分 | |
名稱 | 3路質子流量計 |
型號 | D07-26 |
主要參數 | 基準源：+5.00V±0.1% 10mA~供電源220V±10% 50Hz |
射頻器部分 | |
名稱 | 射頻自動匹配器 |
匹配功率范圍 | 0-500W |
工作頻率： | 13.56MHZ |
正常工作反射功率 | ＜3W |
匹配時間 | ＜3S |
傳輸效率 | ＞90% |
匹配器電源 | AC220V/50-60HZ |
輸入連接器 | N型 |
輸出連接器 | UHF |
控制模式 | 手動/自動 |
可設預置點數 | 7 |
匹配阻抗范圍 | 實部0-80Ω 虛部-j200-j200(可根據負載調節阻抗) |
匹配器尺寸 | 340X230X130 MM |
整機重量 | 5.5KG |
說明：1、本產品的規格參數僅供參考，以具體產品實際參數為準，請與銷售及咨詢客服人員。
2、產品圖片及外觀尺寸在不斷研發更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標準產品外、我公司可根據客戶要求，進行設計生產，具體與銷售人員，
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