深度冷凍技術(shù)是當(dāng)前使用的空氣分離技術(shù)，也是各國在空氣分離技術(shù)競爭上的焦點。深冷空分的基本工藝流程是：空氣從空氣吸入塔進(jìn)入工藝系統(tǒng)，經(jīng)過過濾和空氣壓縮機加壓后，進(jìn)入空氣預(yù)冷塔，用冷卻水對空氣進(jìn)行冷卻，經(jīng)冷卻后的空氣送入純化系統(tǒng)（MS系統(tǒng)），空氣經(jīng)過純化系統(tǒng)吸附凈化后，除去空氣中的水分、CO2和乙炔等部分碳?xì)浠衔铩＝?jīng)凈化的空氣在膨脹機中進(jìn)行膨脹,溫度急劇下降。在分餾塔系統(tǒng)中，經(jīng)前面工段加壓、凈化、膨脹的空氣將實現(xiàn)分離，zui終得到氧氣和氮氣。