525系列-CNC表面粗糙度和輪廓測量系統福建三豐代理技術參數 :

X1 軸
測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.00625µm
檢測方法 : 激光全息光柵尺
測量速度 : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度）0.02 - 2mm/s （形狀/輪廓）
測量方向 : 向前／向后
直線度 : （0.1+0.0015L）µm 使用標準測針（0.2+0.0015L）µm使用二倍長型測針
直線度 : （0.05+0.0003L）µm 使用標準測針（0.1+0.0015L）µm使用二倍長型測針（CS-H5000CNC）
指示精度 （20ºC）: ±（0.3+0.002L）µm
指示精度 （20ºC）: ±（0.16+0.001L）µm
L 為驅動長度 （mm）
525系列-CNC表面粗糙度和輪廓測量系統Z1 軸
測量范圍 : 12mm （使用標準測針）
24mm （使用二倍長型測針）
分辨率 : 0.004µm （使用標準測針）
0.008µm （使用二倍長型測針）
0.001µm （使用標準測針）（CS-H500CNC）
0.002µm （使用二倍長型測針）（CS-H500CNC）
測針上／下運作 : 弧形運動
檢測方法 : 激光全息光柵尺
指示精度 （20ºC）: ±（0.3+I0.02HI）µm
指示精度 （20ºC）: ±（0.07+I0.02HI）µm
H 為測量高度 （mm）
測力 : 4mN （使用標準測針）
0.75mN （使用二倍長型測針）
跟蹤角度 : 向上 60º, 向下 60º
（取決于表面粗糙度）
測針針尖 : 參見 L-22 頁
測針方向 : 向下
Z2 軸 （立柱）
測量范圍 : 300mm 或 500mm
CS-H5000CNC : 僅 300mm
分辨率 : 0.05µm
檢測方法 : 反射型線性編碼器
0 - 50mm/s （操縱桿控制模式）
基座尺寸 （W x D）: 750 x 600mm
基座材料 : 花崗巖
超級輪廓測量裝置Y 軸
測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.05µm
0~50mm/s （操縱桿控制模式）
直線度 : 0.5µm/200mm
指示精度 （20ºC）: ±（2+2L/200）µm
L 任意兩點間的長度 （mm）
尺寸 （W x D x H）: 800 x 620 x 1000mm
（800 x 620 x 1200mm: 高立柱型）
重量 : 240kg （250kg: 高立柱型）