X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD特點
空間分辨率小于3μm
• 可集成多種分析技術
• 延遲線探測器(DLD)系統
• 平行成像和微區譜圖
X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD技術參數
●圖像分辨率(邊緣分辨率) 2μm左右
●XPS靈敏度 大面積 11,800kcps / 110μmΦ 1,800kcps
27μmΦ 100kcps / (Ag3d5/2、450W)
●zui小分析直徑(收譜分析) <15μmΦ
廣州佳睿科學儀器有限公司
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X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD:采用新開發的雙模式分析器,從數秒至數十秒的時間內得到數µm以下的高分辨元素象、化學狀態象,是真正的成象XPS。
X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD特點
空間分辨率小于3μm
• 可集成多種分析技術
• 延遲線探測器(DLD)系統
• 平行成像和微區譜圖
X射線光電子能譜儀AXIS ULTRA DLD技術參數
●圖像分辨率(邊緣分辨率) 2μm左右
●XPS靈敏度 大面積 11,800kcps / 110μmΦ 1,800kcps
27μmΦ 100kcps / (Ag3d5/2、450W)
●zui小分析直徑(收譜分析) <15μmΦ
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