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TL1200-Mini 管式爐

型號

TL1200-S-C-I   

TL1200-S-C-II

 功率

1.2KW

1.2KW

  爐管尺寸

Dia 25(OD) X700mm

Dia 50(OD)X700mm

電源電壓

220V

相數(shù)

單相

加熱元件

 瑞典 Kanthal 電阻絲     點(diǎn)擊進(jìn)入資料下載

進(jìn)口電阻絲          VS        國產(chǎn)電阻絲

控制方式

采用宇電程序控溫儀表

1、30段程序控溫只能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過溫保護(hù)斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

          控溫模式

智能PID

      斷偶保護(hù)和顯示

有

           過溫保護(hù)

有

            過流保護(hù)

有

爐膛材料

1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進(jìn)口）

 進(jìn)口爐膛                       VS                      國產(chǎn)爐膛

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

zui高溫度

1200 ℃

額定溫度

1100 ℃     

升溫速率

≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號

K

加熱段長度

 200 mm

日本島電FP93儀表與電腦連接 控制和記錄軟件（選購）

COM變USB接口                  電腦與爐子連接的數(shù)據(jù)線                

FP93控溫儀表軟件（下載請點(diǎn)擊）     

FP93控溫儀表軟件安裝步聚（下載請點(diǎn)擊）

FP93溫控儀表軟件使用說明（下載請點(diǎn)擊）

真空法蘭

鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購）     可以接電阻真空計(jì)和             水冷法蘭（選購）

                              KF25波紋管的法蘭（右側(cè)）

普通法蘭   （左側(cè)）                                    卡套式法蘭（選購）

電器認(rèn)證

四周表面溫度

≤45℃

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

流量控制和檢測采用

      D07-7C

    質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)量流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)量程

    5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）

              氣路路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）

質(zhì)量流量計(jì)準(zhǔn)確度

  ±1.5%

質(zhì)量流量計(jì)氣壓降

<0.01MPa

質(zhì)量流量計(jì)重復(fù)精度

±0.2% F.S

  質(zhì)子流量計(jì)zui大工作壓力

 3MPa

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

供氣系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

供氣系統(tǒng)工作溫度

 5-45℃

壓力真空表范圍

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

卡套接口

Dia6mm

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

電源

  220V

尺寸

 600X600X600

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)

 10 ^-1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-8真空泵

    型號

VRD-8

  極限分壓強(qiáng)

5X10^-2 Pa

   進(jìn)排氣接口

 KF25

    電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機(jī)功率

0.4KW

CVD系統(tǒng)加上該裝置后就是LPCVD

電阻真空計(jì)

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 ⁵ Pa

   電阻硅

ZJ-52T

        瑞典（INFICON）

  皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)

              （選購）

數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

5 lbs