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TL1700-1400 雙溫區(qū)管式爐

型號(hào)

TL1700-1400-C-I      

TL1700-1400-C-II

 TL1700-1400-C-III

 功率

8KW

8KW

12KW

  爐管尺寸

Dia60(OD)X1250mm 

Dia80(OD)X1250mm  

Dia100(OD)X1250mm

                  外形尺寸

                 （LXDXH）

1300X500X800

1300X500X800

1300X550X850

電源電壓

220V /380V

相數(shù)

單相

加熱元件

    溫區(qū)一：  1800型硅鉬棒                               溫區(qū)二：硅碳棒

控制方式

2臺(tái)儀表各自控制

采用宇電程序控溫儀表

1、30段程序控溫只能PID調(diào)節(jié)。

2、具有過溫保護(hù)斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1720度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配）

4、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

FP93控溫儀表（日本島電）（更換進(jìn)口儀表，需要另外付費(fèi)）

1、40段程序控溫可以分成4、2、1組程序，如果分成4組程序，每條程序?yàn)?0段，

2、6組PID控制，低、中、高溫可以各用一組PID ，這樣每個(gè)溫度段都能夠控制得很準(zhǔn)確。

3、具有過溫保護(hù)斷偶保護(hù)過溫或斷偶時(shí)電爐加熱電路自動(dòng)切斷,，（當(dāng)電爐溫度超過1720度或熱電偶燒斷時(shí)，主電路上的交流繼電器會(huì)自動(dòng)斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護(hù)電爐）。

4、儀表有華氏度（F）和攝氏度（C）可供選擇

5、帶有485 通訊接口（選購軟件時(shí)標(biāo)配）

6、具有自動(dòng)停機(jī)功能

7、可以儲(chǔ)存多組程序、使用時(shí)可以任意調(diào)出。

8、具有斷電保護(hù)功能，即斷電后再給電啟動(dòng)爐子時(shí)、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時(shí)爐溫開始升。

9、儀表上有輸出功率、程序執(zhí)行的段數(shù)和執(zhí)行時(shí)間、程序處于升溫、恒溫、降溫狀態(tài)的顯示。

10、儀表具有跳步功能（即儀表可以跳個(gè)這一步直接執(zhí)行下一步。

11、儀表具有溫度自整定的功能。

         控溫模式

智能PID

       斷偶保護(hù)和顯示

有

          過溫保護(hù)

有

            過流保護(hù)

有

爐膛材料

1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進(jìn)口）

 進(jìn)口爐膛                       VS                      國(guó)產(chǎn)爐膛

控制精度

+/- 1 ℃

觸發(fā)器

移相觸發(fā)

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國(guó)西門康

zui高溫度

溫區(qū)一：1700 ℃                                         溫區(qū)二：1400 ℃

額定溫度

溫區(qū)一：1600 ℃                                          溫區(qū)二：1350 ℃     

升溫速率

≤20 ℃/ Min （可根據(jù)要求修改）

升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號(hào)

溫區(qū)一：B  型                                                     溫區(qū)二：S型    

加熱段長(zhǎng)度

 溫區(qū)一：300mm                                                 溫區(qū)二：260 mm

日本島電FP93儀表與電腦連接 控制和記錄軟件（選購）

COM變USB接口                  電腦與爐子連接的數(shù)據(jù)線                

FP93控溫儀表軟件（下載請(qǐng)點(diǎn)擊）     

FP93控溫儀表軟件安裝步聚（下載請(qǐng)點(diǎn)擊）

FP93溫控儀表軟件使用說明（下載請(qǐng)點(diǎn)擊）

真空法蘭

鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm（選購）     可以接電阻真空計(jì)和                水冷法蘭（選購）

                                   KF25波紋管的法蘭（選購）

普通法蘭                                        卡套式法蘭（選購）

電器認(rèn)證

四周表面溫度

≤45℃

GX供氣系統(tǒng)主要參數(shù)

流量控制和檢測(cè)采用

 D07-7C

質(zhì)量流量計(jì)

標(biāo)準(zhǔn)量程

采用質(zhì)子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）

zui大工作壓力

3MP

準(zhǔn)確度

 ±1.5%

氣壓降

<0.01MPa

重復(fù)精度

±0.2% F.S

               路數(shù)

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統(tǒng)工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態(tài)混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽氣系統(tǒng)

電源

  220V

尺寸

 600X600X600

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統(tǒng)抽爐管真空度可達(dá)

 10 ^-1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-8真空泵

型號(hào)

VRD-8

  極限分壓強(qiáng)

5X10^-2 Pa

   進(jìn)排氣接口

 KF25

    電機(jī)轉(zhuǎn)速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機(jī)功率

0.4KW

德國(guó)Preiffer ACP15

無油多級(jí)羅茨泵

   型號(hào)

Preiffer　ACP15

   電源

 100-220V   550W  50/60HZ

   抽氣接口

 KF25

  zui大抽速

3.8L/S

  極限真空度(Torr)

2.2X10^-1

  zui大漏率

< 5X10^-7

   重量

 23KG

低壓恒定裝置（選購）

CVD系統(tǒng)加上該裝置后就是LPCVD

電阻真空計(jì)

   型號(hào)

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測(cè)量范圍

0.1-10 ⁵ Pa

   電阻硅

ZJ-52T

瑞典（INFICON）

     皮拉尼陶瓷電容真空計(jì)

              （選購）

型號(hào)

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC（配有220V變壓器）

真空計(jì)接口

KF16

數(shù)字顯示

數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為torr

產(chǎn)品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測(cè)氣體

可檢測(cè)各種氣體，包括混合氣體，測(cè)量精確、重復(fù)性好。

是否防腐

防腐

響應(yīng)時(shí)間

≤30ms

測(cè)量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機(jī)組（選購）

機(jī)組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機(jī)箱尺寸

600X600X600

               分子泵

               （方案一）

 分子泵型號(hào)

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進(jìn)氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S（對(duì)空氣）

  600

分子泵極限壓強(qiáng)（Pa)

6×10^-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓（MPa）

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環(huán)境溫度

0~40℃

建議啟東壓強(qiáng)

<100Pa

      前機(jī)真空泵RVP-6

             （方案一）

功率

0.75KW

電壓

380V

轉(zhuǎn)速

1450rpm

進(jìn)氣口徑

 KF25/KF40

前機(jī)泵抽氣速率（L/S）

6

極限壓強(qiáng)

4X10 ^-2Pa

德國(guó)Pfeiffer真空泵

       （方案二）

電壓

220V

功率

110W

極限真空度（在無泄露時(shí)）

<1E-8 mbar

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機(jī)泵抽速

0.9m ³/ h

抽氣速率（N2）

33L/S

復(fù)合真空計(jì)

復(fù)合真空計(jì)型號(hào)

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計(jì)測(cè)量范圍

10^-5 -10 ⁵ Pa