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TL1600管式爐

型號

TL1600-C-I             

TL1600-C-II

 TL1600-C-III        

 功率

5KW

5KW

6KW

  爐管尺寸

Dia60(OD)X1000mm

Dia 80(OD) X1000mm

Dia100(OD)X1000mm

                  外形尺寸

                 （LXDXH）

6100X490X800

610X490X800

610X550X850

電源電壓

220V /380V

相數

單相

加熱元件

    硅碳棒

控制方式

2臺儀表各自控制

采用宇電程序控溫儀表

1、30段程序控溫只能PID調節。

2、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1420度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

3、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

4、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

5、儀表具有溫度自整定的功能

FP93控溫儀表（日本島電）（更換進口儀表，需要另外付費）

1、40段程序控溫可以分成4、2、1組程序，如果分成4組程序，每條程序為10段，

2、6組PID控制，低、中、高溫可以各用一組PID ，這樣每個溫度段都能夠控制得很準確。

3、具有過溫保護斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,，（當電爐溫度超過1420度或熱電偶燒斷時，主電路上的交流繼電器會自動斷開，主電路斷開，面板上ON燈熄滅，OFF燈亮，有限的保護電爐）。

4、儀表有華氏度（F）和攝氏度（C）可供選擇

5、帶有485 通訊接口（選購軟件時標配）

6、具有自動停機功能

7、可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。

8、具有斷電保護功能，即斷電后再給電啟動爐子時、程序不是從起始溫度開始升、而是從斷電時爐溫開始升。

9、儀表上有輸出功率、程序執行的段數和執行時間、程序處于升溫、恒溫、降溫狀態的顯示。

10、儀表具有跳步功能（即儀表可以跳個這一步直接執行下一步。

11、儀表具有溫度自整定的功能。

         控溫模式

智能PID

       斷偶保護和顯示

有

          過溫保護

有

            過流保護

有

爐膛材料

1800型氧化鋁多晶體纖維（日本進口）

 進口爐膛                       VS                      國產爐膛

控制精度

+/- 1 ℃

觸發器

移相觸發

電器

浙江正泰

可控硅

106/16E 德國西門康

zui高溫度

1600 ℃                                  

額定溫度

1550 ℃                                

升溫速率

≤20 ℃/ Min （可根據要求修改）

升溫速率

≤10℃/ Min

熱電偶型號

                                               B型    

加熱段長度

                                            300 mm

日本島電FP93儀表與電腦連接 控制和記錄軟件（選購）

COM變USB接口                  電腦與爐子連接的數據線                

FP93控溫儀表軟件（下載請點擊）     

FP93控溫儀表軟件安裝步聚（下載請點擊）

FP93溫控儀表軟件使用說明（下載請點擊）

真空法蘭

鉸鏈式法蘭（選購）     可以接電阻真空計和                水冷法蘭（選購）

                                   KF25波紋管的法蘭（選購）

普通法蘭                                        卡套式法蘭（選購）

電器認證

四周表面溫度

≤45℃

GX供氣系統主要參數

流量控制和檢測采用

 D07-7C

質量流量計

標準量程

采用質子流量控制器       5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM  （你可以任意選擇量程和所通氣體的類型）

zui大工作壓力

3MP

準確度

 ±1.5%

氣壓降

<0.01MPa

重復精度

±0.2% F.S

               路數

   1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意選擇幾路）

接頭類型

 雙卡套不銹鋼接頭

系統工作壓力范圍

0.1~0.5 MPa

工作溫度

 5-45℃

壓力真空表表

-0.1~0.15MPa    0.01MPa/格

靜態混氣室

 Dia50 X 400MM

接口

 Dia6   1/4”

VS-0.1抽氣系統

電源

  220V

尺寸

 600X600X600

波紋管

 KF25X1000mm

用該系統抽爐管真空度可達

 10 ^-1Pa

真空擋板閥

 KF25

VRD-8真空泵

型號

VRD-8

  極限分壓強

5X10^-2 Pa

   進排氣接口

 KF25

    電機轉速

1440RPM

抽氣速率

 2.2L/S

    電機功率

0.4KW

德國Preiffer ACP15

無油多級羅茨泵

   型號

Preiffer　ACP15

   電源

 100-220V   550W  50/60HZ

   抽氣接口

 KF25

  zui大抽速

3.8L/S

  極限真空度(Torr)

2.2X10^-1

  zui大漏率

< 5X10^-7

   重量

 23KG

低壓恒定裝置（選購）

CVD系統加上該裝置后就是LPCVD

電阻真空計

   型號

ZDR-1

   功率

25W

  真空度測量范圍

0.1-10 ⁵ Pa

   電阻硅

ZJ-52T

瑞典（INFICON）

     皮拉尼陶瓷電容真空計

              （選購）

型號

PCG554

  輸入電壓

 24V  1A DC（配有220V變壓器）

真空計接口

KF16

數字顯示

數字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數據顯示單位為torr

產品尺寸

46mm×28mm×126mm ( L x W x H)

重量

5 lbs

檢測氣體

可檢測各種氣體，包括混合氣體，測量精確、重復性好。

是否防腐

防腐

響應時間

≤30ms

測量范圍

3.8x10-5 -1125 Torr.

分子泵機組（選購）

機組輸入電壓

380V /220V

波紋管

KF40X1000

真空擋板閥

KF40

機箱尺寸

600X600X600

               分子泵

               （方案一）

 分子泵型號

  FJ620

  輸入電壓

 380V

  分子泵進氣口法蘭

  DN160

分子泵抽氣速率L/S（對空氣）

  600

分子泵極限壓強（Pa)

6×10^-7

冷卻方式

 水冷

冷卻水壓（MPa）

 0.1-0.2

冷卻水溫度

<25℃

環境溫度

0~40℃

建議啟東壓強

<100Pa

      前機真空泵RVP-6

             （方案一）

功率

0.75KW

電壓

380V

轉速

1450rpm

進氣口徑

 KF25/KF40

前機泵抽氣速率（L/S）

6

極限壓強

4X10 ^-2Pa

德國Pfeiffer真空泵

       （方案二）

電壓

220V

功率

110W

極限真空度（在無泄露時）

<1E-8 mbar

抽氣接口

KF40

重量

150KG

前機泵抽速

0.9m ³/ h

抽氣速率（N2）

33L/S

復合真空計

復合真空計型號

ZDF

 電源

 220V   55W

控制精度

± 1%

 真空計測量范圍

10^-5 -10 ⁵ Pa