三坐標校準雙頻激光干涉儀

儀器的校準是產品控制的重要一環。隨著三坐標測量機的不斷發展，傳統的校準方法已經無法滿足一些大型三坐標測量機的校準工作。JJF1064-2010《坐標測量機校準規范》是我國各計量技術機構及校準實驗室對三坐標測量機進行校準的技術依據。其中規定，在實物標準器無法滿足測量要求時，可使用激光干涉儀進行位置示值誤差測量，并且測量可以只在使用尺寸實物標準器不能滿足要求的軸向進行。關于尺寸實物標準器的要求中有“在尺寸實物標準器的大長度無法達到空間對角線的66%時，可以增加測量位置或使用激光干涉儀進行位置示值誤差測量”的規定。

該雙頻激光干涉儀的示值誤差直接影響對三坐標測量機示值誤差的校準結果，因此要嘗試各種不同的校準試驗方法，盡量避免或減少由激光干涉儀的激光發生器、環境補償系統、夾持器組、線性長度測量鏡組、重負荷三腳架等引入的測量誤差。

三坐標校準雙頻激光干涉儀的測量過程

首先需要對實驗對象三坐標測量機的測量數據進行標定，以減少系統誤差，降低其對三坐標測量機準確度的影響，保證三坐標測量機的穩定運行和測量數據的準確可靠，使該三坐標測量機滿足試驗對象的要求。

標定過程中，需確定儀器或系統的輸入與輸出之間關系：給予儀器以及測量系統分度值，獲得儀器以及測量系統的靜態特性，以此減小系統誤差，提高系統的測量準確度。

技術參數：

穩頻精度：0.05ppm

動態采集頻率：50kHz

預熱時間：≤6分鐘

工作溫度范圍：0-40℃

存儲溫度范圍-20~70℃

環境濕度0-95%RH

環境補償單元：

空氣溫度傳感器：±0.1℃（0~40℃）分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃（0~55℃）分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±5%RH（0-95%RH）

大氣壓力傳感器：±0.1kPa（65~115kPa）

線性測量：

測量距離：0-80m(無需遠距離線性附件）

測量精度0.5ppm (0-40℃）

測量分辨力：1mm

測量大速度：4m/s