- 配置新的第三代ORS3碰撞反應池系統，增強了氦模式的性能，消除干擾的能力比以前更好。
- 如去離子水、過氧化物，等材料中的Li、Na、K、Ca檢測提供行業標準方法。
- 為所有常用的的半導體應用設置了內置式調諧和方法模板，包括碰撞反應池模式以及冷等離子體模式，以確保獲得質量的數據和低的背景等效濃度（BECs）。
- 為所有常見的半導體樣品類型提供標準的操作規程，簡化方法建立的過程
- 較低的熱量輸出和降低排氣量，重新設計了冷卻空氣流路系統—這對超凈室安裝的儀器尤為重要。
- 功能*的新MassHunter軟件平臺增強數據分析和報告功能
- 新型緊湊設計—世界上小的商品化ICP-MS，為您節約了寶貴的工作臺面和實驗室空間
ICPMS電感耦合等離子體發射質譜儀
為是為半導體行業純材料分析而設計的超凈化系統，針對的是 ppt 級半導體行業超痕量元素。額外配置有效的樣品引入系統，五路ICP離子源氣路管線和兩路碰撞/反應池氣體管線（ORS3）的反應性氣體管路是的標準配置）－為目標元素和樣品類型均十分確定的半導體行業樣品提供的干擾消除能力。
保留和升級了的STS冷等離子體能力，為純材料中極易電離的目標元素的測定提供了行業中的性能，并且STS冷等離子體仍是業內可以用同一條件同時分析半導體行業要求的多種目標元素的技術。
ICPMS電感耦合等離子體發射質譜儀
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