反射式數字全息顯微鏡
反射式配置數字全息顯微鏡，無需掃描，非接觸式測量動、靜態物體三維樣貌及振動特性的測量方法。根據波長的不同將反射式DHM分為三種型號：
R1000-配備單一光源，是測量光滑表面和振動的標準測量工具
R2100-同時配置雙波長，實現復雜或不連續結構的測量。
R2200-在R2100基礎上多了第三方光源來擴展測量能力，特別是測量透明模式。
反射式DHM的特性：
快速3D樣貌測量法 | MEMS分析，頻率可達25Mh |
DHM測量表面三維樣貌，單一響應，無需掃描機制。的快速采集，相機速度達1000fps允許： 可變形樣品的3D動態研究 常規檢查與高生產率 短余輝熒光屏及大型表面的分析 捕捉生產線的三維地貌 | 同步DHM 可選頻閃單元，測量MEMS裝置的激勵信號。這一數據分析提供： 三維地貌的時序 共振頻率和響應 振動振幅平面外分辨率可達5pm,平面內可達1nm 表征復雜運動和樣品 |
測量可控制環境條件 | 透明模式的地貌測量 |
DHM的光學配置允許用戶測量較佳光學質量指標： 通過玻璃和浸沒液體 內部環境和真空室，控制溫度，濕度，壓強，氣體成分。 | 可選DHM反射式測量法分析軟件允許以下測量： 透明結構的地形 厚度和折射率，多層結構的厚度值 從10nm到幾十微米 柔軟材料和液體的形貌 |
反射式DHM主要參數：
系統 | |||
DHM型號 | R1000 | R2100 | R2200 |
光源數量 | 1 | 2 | 3 |
操作波長（±0.1nm） | 666nm | 794nm | 666 nm, 794 nm, 680 nm |
激光波長穩定性 | 0.01 nm / °C at 666 | ||
樣品臺 | 手動或自動XYZ平臺，行程300 mm x 300 mm x 38 mm | ||
物鏡 | 放大倍數1.25x到100 x，標準，高數值孔徑，長工作距離，水/油浸物鏡 | ||
物鏡轉輪 | 六孔轉盤 | ||
計算機 | DELL工作站，多核Intel處理器，高性能圖像卡，配置最小21英寸顯示屏及鼠標， | ||
軟件 | 基于C++和.NET的Koala軟件，額外可選軟件模塊可用于分析 | ||
數據兼容性 | 測量數據記錄在二進制表格，可導出.txt格式，記錄和重建圖像可導出.tif格式或.txt數組 | ||
技術參數：
性能參數 | |||
測量模式 | 666nm單波長 | 合成短波長4.2um | 合成長波長24um |
DHM型號 | R1000，R2100，R2200 | R2100，R2200 | R2200 |
精度[nm] | 0.15 | 0.15 / 3.0 * | 20 |
垂直分辨率[nm] | 0.30 | 0.30 / 6.0 * | 40 |
重復性[nm] | 0.01 | 0.01 / 0.1 * | 0.5 |
垂直測量范圍 | up to 200 μm | up to 200 μm | up to 200 μm |
銳利邊緣臺階高度 | up to 333 nm | up to 2.1 μm | up to 12 μm |
表面類型 | 光滑表面 | 復雜，非連續表面 | 復雜非連續表面 |
垂直校準 | 取決于干涉濾光片，±0.1 nm | ||
響應時間 | 標準500us,10us(可選) | ||
響應速度 | 標準30幀（1024*1024像素），可選達1000幀 | ||
重建速率 | 高達25幀1024*1024像素全息圖（依賴于數據分析）（可選60幀） | ||
水平分辨率 | 取決于物鏡，低至300nm | ||
視野 | 取決于物鏡，從66um x66um到5um x5um范圍 | ||
工作距離 | 取決于物鏡，從0.3到18 mm | ||
數字對焦 | 取決于物鏡，高達50 x景深 | ||
最小樣品反射率 | 低于1% | ||
樣品照明 | 低至1 μW/cm2 | ||
頻閃裝置 | 兼容單一，合成短波長 | ||
| 電源要求 | |
輸入電壓 | 85-260 VAC – 50/60 Hz | |
電源要求 | 250W | |
尺寸重量 | ||
尺寸 | 600 x 600 x 800 mm | |
重量 | 48kg | |
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