六甲基二硅胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分 子 量
性 狀 無色透明液體 略帶胺味
別 名 雙(三甲基硅)胺烷
密度(25℃)g/cm3:— 折光率():±
六甲基二硅氮烷含量(%):≥ 六甲基二硅氧烷含量(%):≤
三甲基硅醇含量%:≤ 閃點(diǎn):27℃
沸點(diǎn):126℃ 色度:≤10
用 途:特種有機(jī)合成。、、、氟及各種衍生物等合成過程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、鈦等粉末的表面處理。半導(dǎo)體工業(yè)中光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑。
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