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INFICON環境電容隔膜計SKY CDG025D

INFICON SKY CDG025D 電容膜片式高精度溫度補償壓力計系列專為在惡劣的制造工具環境中保持穩定的性能而設計。

*的數字電子設備可提高儀表性能并提供易于操作的功能，例如一鍵歸零功能和設定點調整。

耐腐蝕陶瓷傳感器提供出色的零穩定性，預期壽命長達數百萬次壓力循環，包括大氣爆裂。

的傳感器屏蔽（正在申請）可保護儀表免受過程污染。

穩健的機械設計和數字電子設備提高了 EMC 兼容性、長期穩定性和溫度補償。

CDG025D 為通電后的快速穩定性和從大氣壓力暴露中快速恢復設立了新標準。

好處

• 滿量程范圍從 100 mTorr … 1000 Torr

• 上電后快速穩定

• 從大氣壓中快速恢復

• 耐腐蝕陶瓷傳感器

• 出色的長期信號穩定性

• 溫度補償

• 傳感器免受污染

• 一鍵歸零功能

• 寬范圍電源

典型應用

• 用于蝕刻、CVD、PVD、ALD的半導體制造設備

• 數據存儲和顯示制造設備

• 工業真空設備

• 通用高精度壓力測量