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FURUYA古屋中國(guó)臺(tái)灣精密TSV封裝晶圓研磨砂輪

晶圓研磨砂輪是用于TSV封裝（銅/化合物），碳化矽，藍(lán)寶石，矽及再生晶圓等的直立式進(jìn)給研磨加工應(yīng)用。

直立式進(jìn)給的晶圓研磨加工包括粗及細(xì)研磨的兩道加工制程、晶圓研磨砂輪可依客戶的晶圓研磨加工需求，

來(lái)客制化設(shè)計(jì)陶瓷結(jié)合劑，鉆石磨料及微結(jié)構(gòu)組織。

晶圓粗及細(xì)研磨加工用晶圓研磨砂輪的鉆石粒度一般為#325～#1000及#2000～#8000。

這晶圓研磨砂輪的特色為穩(wěn)定的高材料移除率，長(zhǎng)效使用壽命及低研磨阻抗電流等。

規(guī)格

以下是以#4000/#6000晶圓研磨砂輪研磨8吋及12吋矽晶圓的廠內(nèi)及客戶測(cè)試，

結(jié)果顯示furuya晶圓研磨砂輪的磨耗量低且使用壽命優(yōu)于競(jìng)爭(zhēng)品牌砂輪。