圖像模式

二次電子圖像

REF像

成份像 (背散射電子圖像)

形貌像 (背散射電子圖像)

立體像 (背散射電子圖像)

實(shí)時(shí)圖像顯示

雙實(shí)時(shí)圖像同時(shí)顯示, 分割實(shí)時(shí)圖像顯示

加速電壓

0.5KV ~ 30KV

探針束流

1pA ~ 0.3uA

(二) 電子光學(xué)系統(tǒng)

燈絲                                    

工廠預(yù)對(duì)中鎢燈絲

電子槍偏壓

無縫式自給偏壓, 連續(xù)調(diào)整

電子槍合軸

自動(dòng)合軸

燈絲加熱

自動(dòng)加熱

聚光透鏡                                

變焦聚光透鏡系統(tǒng) – 技術(shù)

物鏡

超級(jí)錐形物鏡

物鏡光闌

1孔固定，可在X和Y方向微調(diào)

聚焦

自動(dòng)/手動(dòng)聚焦

像散

自動(dòng)/手動(dòng)消像散

像散存儲(chǔ)器                              

標(biāo)準(zhǔn)配置，自動(dòng)/手動(dòng)補(bǔ)償像散

圖像移動(dòng)                                

X-Y , ±50um

(三) 樣品臺(tái)

樣品臺(tái)類型

全對(duì)中樣品臺(tái)

行程                                    

X     :  80mm;

Y     :  40mm;

Z     :  5 ~ 48mm;

傾斜 T:  -10 ~ +90°

旋轉(zhuǎn) R:  360°連續(xù)endless

zui大樣品尺寸

可裝直徑150mm高度為48mm的樣品

zui大觀察視野

直徑127mm

(四) 圖形顯示

顯示像素

640×480,1280×960,2560×1920,5120×3840

圖像處理

平均值, 灰度修正, 反差增強(qiáng), 偽彩, 二及四分屏, 2及4倍數(shù)碼變焦

文件存儲(chǔ)格式

(五) 操作系統(tǒng)

計(jì)算機(jī)

OS    :  Windows 10 (英語版)

觸摸屏式臺(tái)式電腦

(六) 測(cè)量功能

平行線間距測(cè)量

垂直, 水平, 對(duì)角

2點(diǎn)之間距離測(cè)量

任意2點(diǎn)間距離

圓的測(cè)量

直徑

2個(gè)圓中心間距離(觸摸屏操作下不支持此功能)

角度測(cè)量

角度

面積測(cè)量

圓和多角形

計(jì)數(shù)

顆粒計(jì)數(shù)

(七) 真空系統(tǒng)

真空度

高真空模式 1×10-4Pa

抽真空時(shí)間

真空泵系統(tǒng)                             

一個(gè)分子泵, 一個(gè)機(jī)械泵

(七) 安全裝置

斷電,斷水,泄壓,漏電保護(hù)

(八) 自動(dòng)功能

自動(dòng)電子槍控制,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)消像散,自動(dòng)反差和亮度

(九) 擴(kuò)展接口

EDS 能譜儀、Chamber Scope紅外相機(jī)、Probe Current Detector束流監(jiān)視器

(十)能譜儀主要性能

探測(cè)器

電制冷方式Box SDD 探測(cè)器 – 不用液氮

探頭有效掃描面積

25 mm2

探測(cè)器移動(dòng)

固定

Resolution

分辨率

130eV or less (IC

元素分析范圍

Be(4) to U(92)

鈹 至 鈾

Window

窗口

Atmosp

抗大氣壓的超薄窗

取出角

35°（WD：10mm）

Cooling

制冷方法

Peltier coo

標(biāo)準(zhǔn)搭載功能

定性分析

 定量分析

活區(qū)面分析

   點(diǎn)分析

 束流追蹤