徠卡多功能離子減薄儀 Leica EM RES102的優(yōu)勢

主要技術(shù)參數(shù)：

· 具有2把離子槍，離子束能量為0.8keV-10keV，相對位置，可分別±45°傾斜，樣品臺傾斜角度-120°至 210°，離子束加工角度0°至90°，樣品

平面擺動角度<360°，垂直擺動距離±5mm。實際操作參數(shù)根據(jù)具體應(yīng)用需要選擇（系統(tǒng)備有參考參數(shù)，也可自行設(shè)置參數(shù)并存儲）

· 可選配樣品臺：TEM樣品臺（?3.0mm或?2.3mm），F(xiàn)IB樣品清洗臺，SEM樣品臺，斜坡切割樣品臺（對樣品35°或90°斜坡切割）等

· SEM樣品臺可容納zui大樣品尺寸：直徑25mm，高度12mm

· 全無油真空系統(tǒng)，樣品室?guī)в蓄A(yù)抽室，保證樣品交換時間<1分鐘

· 全電腦控制，觸摸屏操作界面，內(nèi)置視頻觀察系統(tǒng)，可實時觀察樣品處理過程