工業廢氣檢測包括有機廢氣和無機廢氣。有機廢氣主要包括各種烴類、醇類、醛類、酸類、酮類和胺類等；無機廢氣主要包括硫氧化物、氨氧化物、碳氧化物、鹵素及其化合物等。工業廢氣根據其排風量、溫度、濃度及本身化學物理性質其治理方法各不相同。

溫度，相對濕度，空氣流速，新風量，總懸浮顆粒

鍋爐煙塵，工業爐容煙塵，煙氣林格曼黑度，可吸入顆粒物，鉻酸霧…

氨，氟化物，氫化氫，硫酸零，二硫化碳，一氧化碳，二氧化氮，氮氧化物，臭氧，二氧化硫，硫化氫，，氬氣，酚類化合物，飲食業油煙，*類，甲醛，苯系物，苯、甲苯、二甲苯，苯乙烯，總揮發性有機物（TVOC），甲醇，丙酮，總烴，丙烯睛，，非甲烷總烴，乙醛，氬乙烯，硝基苯，甲烷

經常檢測的工業氣體有工廠車間產生的苯、甲苯、二甲苯，醋酸乙酯，丙酮丁酮，乙醇，丙烯酸，甲醛等有機廢氣，硫化氫，二氧化硫，氨等酸堿等廢氣。

廢氣21個監測項目：氨氧化物、二氧化硫、非甲烷總烴、酚類、氟化物、鉻酸零、瀝青煙、硫酸零、氬化氫、、氬氣、鎳及其化合物、鎘及其化合物、錫及其化合物、示及其化合物、林格曼黑度、煙塵、油煙、砷及其化合物、一氧化碳、苯并（a）花廢氣25個監測項目：硫化氫、苯、甲苯、二甲苯、甲醛、硫酸零、二氧化硫、煙塵、氨氧化物、林格曼黑度、一氧化碳、顆粒物、油煙、非甲烷總烴、氫苯類、*類、鉛及其化合物、錫及其化合物、氟化物、氬氣、鉻酸零、鎘及其化合物、示及其化合物、鎳及其化合物、