RMS可重復性（標準模式）：1nm 外側面采樣：0.11到8.8μm
RMS可重復性（精度模式）：0.1 nm 視場：8x10mm（@0.78x）到
RMS可重復性（單波段）：0.05 nm 0.84x0.063mm（@100x）
垂直掃描范圍：30μm，100μm zui大斜度：40°到3.2°
或者10mm 校準精度：超過0.1%
數據采集時間：zui高可到7.2μm/s 反射率：1%到100％
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