- 技術參數
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基片尺寸:4,6,8,12英寸;
時間設定范圍:1~999秒;
轉速范圍:100rpm~8000rpm(1%);
- 主要特點
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應用:勻膠,甩膠,涂膠,涂膜等;
控制方式:手動控制,數字程序化控制和觸摸屏控制;
真空性能:專業Oilless Vac & pressure Pump;
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- 儀器介紹
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又名:甩膠機,甩膜機,涂膠機,旋轉涂膜機,勻膜機等;
的半導體設備供應商,多年來致力于掩膜對準光刻機和勻膠機研發與生產,并且廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域;該公司是目前世界上zui早將光刻機商品化的公司之一,擁有雄厚的技術研發力量和設備生產能力;并且其設備被眾多企業、研發中心、研究所和高校所采用;依優秀的技術、的工藝和良好的服務,贏得了用戶的青睞。
相關產品:
掩模對準曝光系統 / 光刻機(紫外/深紫外):手動或自動化控制,基片尺寸4、6、8、12、25英寸,光束均勻性3%,對準精度zui高0.5微米;結合專業的楔形誤差補償技術,使得加工工藝更為*;


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