儀器特點
1、同軸驅動臺面
2、RF射頻探針升級
3、20 – 4000倍的放大
4、后座自由的運動
5、載物臺快速升降
6、晶圓取放簡單
7、壓盤上下精細調節
8、探針卡尖超速傳動調節
儀器規格
真空載物臺： 4/6/8/12英寸不銹鋼
載物臺Theta: 0 – 30度轉動
壓盤上下粗調：6毫米范圍內控制桿調整
壓盤上下微調：25毫米手動輪子調整
壓盤：12微控定位器
顯微鏡臺：1英寸x1英寸移動
真空泵：7升/分鐘，-250mmHg
尺寸：780毫米長x660毫米寬x700毫米高
重量：80Kg
附件
低電流、低電容探針
RF探針、電纜
主動探針
超聲切割
PCB夾具、鍍金載物臺
熱臺、冷卻系統
防震臺、屏蔽罩、黑箱
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