特點
• 階差減小的高度從到NO.5。
• 相鄰階差校準的分辨率為0.01μm，使用干涉儀的精度測量的線性偏差為±0.20μm。
• 可選用鋼制型或陶瓷型。
• 階差規(guī)用于校準相鄰高度的精度。
性能參數(shù)
公制型
| 貨號 | 備注 |
| 516-198 | 鋼制型 (階差 : 10µm/5µm/2µm/1µm) |
| 516-199 | 鋼制型 (階差 : 300µm/100µm/50µm/20µm) |
| 516-498 | 陶瓷型 (階差 : 10µm/5µm/2µm/1µm) |
| 516-499 | 陶瓷型 (階差 : 300µm/100µm/50µm/20µm) |
特點
• 階差減小的高度從到NO.5。
• 相鄰階差校準的分辨率為0.01μm，使用干涉儀的精度測量的線性偏差為±0.20μm。
• 可選用鋼制型或陶瓷型。
• 階差規(guī)用于校準相鄰高度的精度。
特點
• 階差減小的高度從到NO.5。
• 相鄰階差校準的分辨率為0.01μm，使用干涉儀的精度測量的線性偏差為±0.20μm。
• 可選用鋼制型或陶瓷型。
• 階差規(guī)用于校準相鄰高度的精度。
特點
• 階差減小的高度從 到NO.5。
• 相鄰階差校準的分辨率為0.01μm，使用干涉儀的精度測量的線性偏差為±0.20μm。
• 可選用鋼制型或陶瓷型。
• 階差規(guī)用于校準相鄰高度的精度。
日本三豐量塊階差規(guī)516-198/516-199
日本三豐量塊階差規(guī)516-198/516-199
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