RLD10差分干涉儀
差分干涉儀允許測量相對于定義參考對象的位置變化。
差分發射頭具有的光學設計，可實現極低的SDE性能。內置的激光準直輔助鏡可在設定過程中實現俯仰和扭擺角度調整，從而改進準直過程（僅適合平面鏡應用）。
RLD10-X3-DI發射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路，內置激光準直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調整，安裝系統的設計允許拆卸發射頭和調整發射頭位置，對系統準直的影響極小。
特性與優點
- 優異的測量性能 — ppb穩頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達到38.6 pm。
- 差分配置 — 測量運動平臺相對于安裝立柱的位移，從而消除常見模式誤差，例如與環境波動有關的工作區側壁移動。
- 快速調節準直 — 采用四個內置激光準直輔助鏡，很簡單地在真空室外部進行準直調整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。
規格
| 軸行程 | 0 m - 1 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交 = λ/4 (158 nm) 數字正交 = 10 nm RPI20分辨率 = 38.6 pm |
系統非線性誤差 (SDE) 不含接口 | 低于50 mm/sec且信號強度 > 70%時 <±1 nm 1 m/sec且信號強度 > 50%時 <±6 nm |
| 速度 | 可達1 m/s |
通常使用雷尼紹RLU20來配置差分干涉儀發射頭。RLU20激光源的高穩定性結合差分干涉儀發射頭的高性能，必將成為真空室和其他空調嚴格控制環境中的應用的理想選擇。
英國雷尼紹RLD10差分干涉儀
英國雷尼紹RLD10差分干涉儀
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