Newport 電動傾斜對準位移臺
多軸動態對準位移臺通過電動化廣受歡迎的對準位移臺的各個調節軸,從而增強了對準設備的實用性。將 Picomotor™ 促動器與各個位移臺集成一體后,可對 X、Y、Z、Θx 和 Θy 的各種多軸組合進行遠程高分辨率 (<30-nm) 調節。
輕松對準調制器和光電隔離器
4 軸、5 軸和 6 軸調節版本
分辨率 <30 nm
標準大氣壓和真空兼容版本
8071 - m XYθxθy機動四軸傾斜調整器增加我們的流行運動階段的效用使機動化的每個軸。添加Picomotor™驅動器每個階段允許遠程高分辨率(< 30 nm)調整各種組合的X, Y,θx,和θy。模型8071-M四軸對準器是理想的定位調制器或隔離器和耦合光波導器件
Newport 電動傾斜對準位移臺技術參數
位移軸
X, Y, θx, θy
機制
Kinematic
驅動方式
Picomotor
行程范圍
3 mm
角度范圍
8°
負載
13 N
小位移增量
<30 nm
角分辨率
θx, θy≤0.7 µrad
端口類型
6-pin Connectors (2)
工作溫度
10 to 40°C
螺紋類型
M4
多軸動態對準位移臺通過電動化廣受歡迎的對準位移臺的各個調節軸,從而增強了對準設備的實用性。將 Picomotor™ 促動器與各個位移臺集成一體后,可對 X、Y、Z、Θx 和 Θy 的各種多軸組合進行遠程高分辨率 (<30-nm) 調節。
輕松對準調制器和光電隔離器
4 軸、5 軸和 6 軸調節版本
分辨率 <30 nm
標準大氣壓和真空兼容版本
8071 - m XYθxθy機動四軸傾斜調整器增加我們的流行運動階段的效用使機動化的每個軸。添加Picomotor™驅動器每個階段允許遠程高分辨率(< 30 nm)調整各種組合的X, Y,θx,和θy。模型8071-M四軸對準器是理想的定位調制器或隔離器和耦合光波導器件













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