Newport 電動傾斜對準位移臺

8081M-UHV XYZTxTy電動五軸傾斜對準器增加了我們流行的運動階段的效用，通過電動每一個軸，現在可以在UHV環境(10-9 Torr)以及VUV/EUV應用。Picomotor™執行器在每個階段的性能都優于X、Y、Z、Tx和Ty的不同組合的小于30nm的遠程高分辨率調節。由于其小的回差，它具有良好的穩定性和高剛度。8081-UHV已經過測試，并在85°C的溫度下，在超過3小時的時間內，其揮發性物質的出氣量小于5ppm。詳細描述出氣體化合物的質譜圖可根據要求提供。M4和M6攻絲孔。使用一個8081-UHV-C電纜，兩個8725多軸適配器和兩個8742控制器/驅動器來控制所有5個軸。

Newport 電動傾斜對準位移臺

技術參數

• 機制Kinematic  

• 驅動方式Picomotor  

• 行程范圍3 mm    

• 角度范圍θx=8°, θy=10°  

• 負載13 N     

• 小位移增量<30 nm  

• 角分辨率θx, θy≤0.7 µrad 

• 真空兼容性10-9 Torr 

• 線纜類型Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated 

• 端口類型DB15 Female

• 工作溫度10 to 40°C 

• 螺紋類型M4 and M6 8081M-UHV XYZTxTy電動五軸傾斜對準器增加了我們流行的運動階段的效用，通過電動每一個軸，現在可以在UHV環境(10-9 Torr)以及VUV/EUV應用。Picomotor™執行器在每個階段的性能都優于X、Y、Z、Tx和Ty的不同組合的小于30nm的遠程高分辨率調節。由于其小的回差，它具有良好的穩定性和高剛度。8081-UHV已經過測試，并在85°C的溫度下，在超過3小時的時間內，其揮發性物質的出氣量小于5ppm。詳細描述出氣體化合物的質譜圖可根據要求提供。M4和M6攻絲孔。使用一個8081-UHV-C電纜，兩個8725多軸適配器和兩個8742控制器/驅動器來控制所有5個軸。