Stabilizer™ 無塵室氣動隔振器
我們的 S-2000AC 系列氣動隔振器采用 Newport 的無塵室預處理程序制造而成,限度地提高了將在無塵室應用中使用的產品的清潔度。
- 用于 USC 系列無塵室光學平臺的無塵室
- 混合室設計da化了隔離帶寬和穩定性
- 高精度的重新調平功能改善了受干擾后的重新定位
- 用于無限制活塞運動的具有專li的自定心設計可實現平滑的隔離
- 可調節隔離腿高度可以對不平坦的地面進行補償,以獲得更好的隔離效果
- 人體工程學設計包括集成氣泡水平儀、地震保護裝置和浮標高度指示
Stabilizer™混合腔設計
Stabilizer™ 無塵室氣動隔振器氣動隔振器重要的設計目標之一是降低其固有頻率。 它與隔離器的柔性體積有關——體積越大,頻率越低。不同于常規的柔性腔(其體積會影響固有頻率)和阻尼腔設計不同,Newport獲得專li的Stabilizer混合腔設計包含一個小尺寸的初始腔和一個第二個阻尼腔,整合為一個統一的混合腔。 由于大大減小了初始腔室的尺寸,因此它迫使隔振器將第二腔室作為柔性體積的一部分,這樣便可以增加給定的包裝尺寸下的柔性體積,同時大大降低了固有頻率。

用于水平隔振的三線擺設計
S-2000出色的水平隔振是通過機械過濾系統實現的。與其他制造商的接觸軸承表面相比,Newport引入了出現于耗能油中的零摩擦三線擺系統,消除了經常干擾高精度應用的摩擦,從而能夠將振動隔離到更低的水平,并在受到干擾后實現高精度工作臺重新定位。此外,S-2000設計具有專有的自定心功能,可以更好地確保隔離器對準并消除其他設計中可能發生的水平縮短。

層流技術提高阻尼效率

除了低固有頻率,隔振器性能的另一個指標是阻尼效率。它與通過阻尼器的氣流和壓降成正比。與其他同類產品的單孔或細管設計相比,Newport 在隔振器設計中du家引入了層流阻尼元件,大大提高了阻尼效率。連接兩個腔室的層流盤在活塞運動和阻尼室氣流之間形成更好的聯系。這對于給定的活塞位移可以產生更高的阻尼力以獲得更快、更有效的阻尼。它還降低了共振的放大率,并優化了隔振帶寬和穩定時間。S-2000A 還使用定制的超軟膜片來降低剛度,從而進一步提高垂直隔振性能。






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