用于SEM的主動式壓電陶瓷振動消除地面式平臺
主動隔振系統
優勢：
硬式裝載技術
SEM-Base VI兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統， 從 0.6Hz 開始主動強力消減地面低頻振動。
主動慣性振動消除
SEM-Base VI采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器，即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。
串行設計與壓電技術
串行設計加上高強度壓電技術，SEM-Base VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬，更實現了無與lun比的慣性主動振動消除，2Hz以上的振動衰減可達90%以上。
集成式的單平臺設計
SEM-Base Vi設計與制造的集成化，將安裝平臺的工作簡化到了極紙、，簡單的定位與設置之后即可正常工作。
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