1 六自由度主動振動阻尼系統2 獨立或集成的強力電磁致動器 3 數字控制器 4 非接觸式電子高度控制閥 5 Feedforward inputs correct for stage induced payload motions.

優點：

1、減小載荷運動和調整時間

2、更高的分辨率

3、模塊化設計允許用戶一個單元或組件，方便OEM集成

4、前饋參數自動調節，簡化設置

Electro-Damp®是款商業化、主動的隔振系統，設計來增加半導體制造應用的分辨率以及產量。Electro-Damp®II是對原始系統重新的設計，添加了模塊、數字控制、前饋控制，強力/高清晰度致動器，以及設計用于OEM應用如顯微光刻法，檢驗和計量工具的多個數字用戶接口。

半導體制造工具的放置需要隔振系統。針對地板噪聲，系統必須“軟"以便有效過濾地板振動達到隔振效果。同時，系統必須“硬"來響應平臺受力。

除了利用慣性、主動反饋阻尼，Electro-DampII還使用前饋信息進一步提高系統響應。前饋控制器的工作原理是通過具有平臺位置以及加速度信息的平臺控制器獲得信息，然后經過數據處理后提供力用于驅動負載，大大減少載荷運動。DC2000數字控制器還可以利用平臺測試模式自動調節前饋所需的參數。這使得初始安裝或改變有效載荷后的設置更加快速和容易。Electro-Damp®II的模塊化設計允許系統單獨使用電子伺服閥或者電磁驅動，或者對于苛刻的應用程序兩者結合使用。

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