常見的實驗室地板對于較為高大的工具進行地板振動隔離是很大的挑戰(zhàn)。直接把隔振系統(tǒng)放在工具下面可能會使工具升到一個不切實際的高度。并且，常見的氣浮隔離系統(tǒng)與高大的、上部分重的負載近距離使用時會不穩(wěn)定。

TMC的65系列STACIS地板式平臺解決了這個難題。通過把不銹鋼平臺和的“l(fā)ifthood"設計組合到一起，我們的隔離器只會把放置工具的平臺升到離地板很小的距離。并且，由于隔離器并沒有和平臺集成到一起，所以平臺可以定制成符合工具的形狀或者其他需要的形狀。

TMC地板式平臺配備STACIS主動壓電陶瓷隔離器。STACIS的優(yōu)勢如下：

1、STACIS主動壓電陶瓷隔離器對于高的，頂部較沉的負載沒有不良影響。不存在重力不穩(wěn)定的危險。

2、安裝在平臺上的儀器（TEMs，STEMs，STMs，SPMs等）都是振動敏感的工具。STACIS提供了的振動隔離并且沒有低頻放大。

3、需要隔振的儀器一般都有內置的振動隔離系統(tǒng)。這個系統(tǒng)通常是低頻氣浮隔離器，這個隔離器一般不可以被其他低頻氣浮隔離系統(tǒng)支撐。STACIS兼容任何內置隔振的裝置。

4、TMC和儀器制造商都有密切的合作關系，這確保我們的平臺設計滿足儀器外形、結構和實用性要求。

我們已經成功地安裝了上百個不同的儀器，熟悉很多設備的需求。大部分情況下，你只需要提供工具生產商和型號，我們就可以解決方案。

訂購：
1、確定設備或儀器的型號和配置。
2、確認地板類型——實驗室傳統(tǒng)瓷磚地板、木地板等。
3、告訴我們儀器制造商是否已經對環(huán)境的振動情況進行安裝前的調查。大多數情況下，使用標準地板式平臺。

應用舉例

設備生產商可以利用STACIS獲得微米級的地板振動，用來模擬真實環(huán)境的地板活動，制定工具振動標準。

半導體設備制造商、電子顯微鏡制造商和其他工具制造商正努力為他們的儀器制定有意義的地板振動標準。這些標準可以源自于理論或經驗。理論計算非常復雜，往往是不切實際的或者不能反映儀器實際的敏感度，因為許多變量無法輕易模擬。

STACIS 2100 在TMC自己的工廠內被用作隔振系統(tǒng)/振動器來測試其他TMC隔振產品的性能。

STACIS通常是作為地板隔振系統(tǒng)，它也可以提供微米量級的輸入操作。振動器信號可以是白噪聲、離散頻率或正弦波形。STACIS可以提供獨立的或組合的X、Y、Z軸振動輸入，且沒有其他的振動源可以將輸入控制在如此小的振幅且同時提供一個可控制振動頻譜。

工具可以安裝在STACIS隔振系統(tǒng)上，當整體工具的性能被評估之后，STACIS振動源的振幅可以調整。

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