小于5ml/min流量的微小液體流量計美國INTEK流量計利用電阻熱流量測量采用2個電阻溫度檢測器(RTDs)測量流量。其中1個RTD測量流體溫度，另一個RTD測量由流動液體來降溫的低電壓加熱器溫度。加熱與未加熱的RTDs間的溫差提供了主要的流量信號。
    在較高流速時，加熱的RTD的冷卻效果增強，所以溫差減少。差分信號與流速呈對數函數關系。因為冷卻效果是流速的一個函數，所以不要求氣體的補償壓力。 
    自1978年以來，這種測量技術已經在成千上萬的裝置中使用。RHEOTHERM技術使得zui精準熱式流量計的技術日益，并被*為微小流量的zhong極測量。小于5ml/min流量的微小液體流量計不介入式流量測量 ,準確小流量測量,無活動部件. 可重復流量測量, 沒有或縮短的直管段,對低氣體流速敏感, 具有本質安全型防爆.

準確的小流量測量，低壓降。非入侵式流量傳感器，低流動點設定，體積小 。基本免維護，防震動、防振顫，可靠性。測量不受液體中夾帶固體顆粒的影響 ，直通管傳感器設計，無機械活動部件。

INTEK流量計內嵌傳感器，壓降小，流路通暢。無論是精確的實驗室，苛刻的工廠里或者航空的極限運行，INTEK的內嵌傳感器都有一種適合的、可靠的、久經考驗的設計符合您的要求。

小于5ml/min流量的微小液體流量計標準不銹鋼316接液管與大部分液體和氣體兼容。對大部分腐蝕性液體，可用其他合金和金屬。此傳感器允許現場化學和蒸汽殺菌。電解拋光管可專門用于高純度應用。

■ 應用TU/TUL傳感器，具有無障礙流體通道

■ 不用維修維護；

■ 同一個流量計可以測量液體，也可以測量氣體；

■ 超微流量測量。測量液體低可達10cc/天，測量氣體zui低可達20sccm；

■ 一種流量計可以測量4中不同液體。

■ 使用簡單，安裝即用。