單晶硅中電解液的配備對純水要求十分嚴格，通常要求水的電導率在0.1us/cm(電阻值在10兆歐姆)以上，傳統用來制備電池用超純水的工藝是常采用陰陽樹脂交換設備，該工藝的缺點在于樹脂在使用一段時間以后要經常再生。下面大家介紹幾種比較適合單晶硅爐用超純水設備的工藝。

　　1、采用離子交換方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點

　　2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→級反滲透 →PH調節→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點

　　3、采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點

　　隨著膜分離技術的不斷成熟，現在單晶硅超純水設備常常采用反滲透過濾工藝，或者是采用一級反滲透后面再經過離子交換混床(或電去離子EDI)工藝來制取超純水。

    優點：

    1、無需酸堿再生：在混床中樹脂需要用化學藥品酸堿再生，而EDI則消除了這些有害物質的處理和繁重的工作，保護了環境。

    2、連續、簡單的操作：在混床中由于每次再生和水質量的變化，使操作過程變得復雜，而EDI的產水過程是穩定的連續的，產水水質是恒定的，沒有復雜的操作程序，操作大大簡便化。

    3、降低了安裝的要求：EDI系統與相當處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結構，可依據場地的高度和窨靈活地構造。模塊化的設計，使EDI在生產工作時能方便維護。

    單晶硅爐用超純水設備主要配置：

    1、預處理系統：原水箱(選配)、原水箱液位、控制器、原水進水、電磁閥、原水泵、多介質過濾器、活性炭過濾器、全自動軟水器、管路、閥門。

    2、RO反滲透系統：一級高壓泵、二級高壓泵、一級反滲透膜、二級反滲透膜、反滲透膜殼、膜架、控制系統、進水電磁閥、沖洗電磁閥、調壓閥、高壓開關、低壓開關、精密過濾器。

    3、儲存系統：液位控制器中間水箱純水箱。

    4、IX離子交換系統：給水泵、再生泵、樹脂容器、離子交換樹脂、管路、閥門、機架。