一、微電子產品用高純水設備說明：

為滿足用戶需要，達到符合標準的水質，盡可能地減少各級的污染，延長設備的使用壽命、降低操作人員的維護工作量.在工藝設計上，取達自來水標準的水為源水，再設有介質過濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟化器、精密過濾器等預處理系統、RO反滲透主機系統、離子交換混床（EDI電除鹽系統）系統等。

系統中水箱均設有液位控制系統、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器，真正做到了無人職守，同時在工藝選材上采用和客戶要求相統一的方法，使設備與其它同類產品相比較，具有更高的性價比和設備可靠性。

執行標準：嚴格執行現行的各種水處理標準（生活飲用水標準、實驗室用水標準、電子工業部高純水標準等），不斷的在工藝設計和材料選擇上進行改進，以滿足先行的各種標準。

 二、微電子產品用高純水設備的組成：

 1、預處理系統

 反滲透進水中含有的難溶鹽及相關成分達到下表中所列的濃度時，均應在預處理中采取相應措施，以防止反滲透膜結垢，預處理功能*，自保護好，對各類雜質去除效率也較高。

 2、反滲透系統

 采用優質進口RO膜。具有篩分作用，它的性能極其穩定，在系統既定壓力下，只能透水而不透過溶質。因此，能精密濾除水中的細菌、病毒、鹽類及各種致癌物質。脫鹽率≥99%。反滲透系統具備自動清洗功能，有效預防反滲透膜結垢堵塞，保證其持續高效的運行。

 3、混床系統

采用優質核子級拋光混床四柱樹脂。超純化處理系統的設置，使得水中離子被全部除去。通過該系統的產水水質電阻率高可達到18、2兆歐/厘米，已足以滿足不同實驗基本應用的要求。

 4、紫外消毒

 采用特殊光源雙波長紫外燈。因其性能，超純水在該紫外燈內再經過6道循環處理過程，既*除滅了殘余的細菌，又*降解了殘留的痕量有機物。

三、工藝流程：

 1、預處理-反滲透-純化水箱-離子交換器-紫外燈-用水點

 2、 預處理-一級反滲透-二級反滲透-純化水箱-紫外燈-用水點

 3、預處理-反滲透-中間水箱-中間水泵-EDI裝置-純化水箱-紫外燈-用水點

 4、預處理→紫外線殺菌裝置→一級RO裝置→二級RO裝置→中間水箱→EDI裝置→拋光混床→用水點