PIMag精密線性平臺
由于平滑運行的精密線性導向裝置采用交叉滾柱軸承,因此該線性平臺特別適合速度恒定的掃描應用。防蠕動系統可靠地防止保持架蠕變。導向裝置在所有操作條件下都具有高負載能力和高精度。
直接位置測量
以的精度直接在運動平臺上進行位置測量,因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響。
高分辨率PIOne編碼器由PI研發,在對測量數據進行相應處理后,可實現遠低于1納米的位置分辨率。光學非接觸式PIOne編碼器基于干涉測量原理。由于信號周期短,信號質量高,PIOne編碼器的線性誤差小于1%。 PIOne編碼器在研究參考信號時支持方向感應。
編碼器提供明確的位置信息,幫助即刻確定位置。這意味著在接通期間無需定位,提高了操作過程中的效率和安全性。
PIMag精密線性平臺PIMag磁力直接驅動
三相磁性直接驅動器在動力傳動系統中未使用機械零件,其可直接將驅動力傳輸至運動平臺,且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。 無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務,因為其不會與磁鐵發生不良作用。這樣即使在低的速度下也能保持平穩的運行,同時,在高速狀態下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。
應用領域
工業和科研。自動化、測量技術、光子學以及半導體或平板顯示器制造中的精密掃描


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