半導體/FPD檢查顯微鏡;為用戶提供高效率。
MX61適用于zui大200mm的樣本,而MX61L則可適用于zui大300mm的樣本。
1、大型載物臺搭載:可用于400300mm液晶基板,300mm晶圓全面檢查(MX61L)。
2、采用高NA的透射光聚光鏡,圖象更銳利。
3、多種觀察方式,多種照明方式,多種附件以滿足不同應用要求。
4、透射和反射照明可同時使用,提高液晶基板觀察效果。
型號 | OLYMPUSMX61L型顯微鏡 | ||
光學系統(tǒng) | UIS2光學系統(tǒng)(,無限遠校正光學系統(tǒng),) | ||
顯微鏡鏡體 | 射光照明(F,N,26,5) | 12V100W鹵素燈泡(預定心型) 明視場/暗視場反射鏡可外加1個分光鏡組(選配),轉換使用內置電動孔徑光闌(每個物鏡可預設,物鏡轉換時自動轉換,暗視場觀測時自動打開) | |
觀測方法 | |||
①反射光明視場法;②反射光暗視場法;③反射光諾曼爾斯基微分干涉襯比法;④反射光簡單偏振法;⑤反射光熒光法;⑥反射光照明法(IR)⑦透射光明視場法;⑧透射光簡單偏振法③/④/⑤需要專門的分光鏡組。⑦/⑧需要與透射光照明部件配合使用。 | |||
觀察鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型 其它:超寬場三目鏡筒/寬場雙目鏡筒 | 超寬場正像傾斜式三目鏡筒(F.N. 26.5) :MX-SWETTR型或U-SWETTR型(MX-SWETTR是MX61L的標準配置) | |
換鏡轉盤 | 電動五孔明/暗視野法用轉盤,配備滑槽用于微分干涉襯比法觀測:U-D5BDREMC型 | ||
載物臺 | MSS-300A:12寸12寸,行程:356×305mm 原裝日本精機2軸電動平臺,可以進行XY軸同時聯(lián)動。 帶12寸晶圓載物臺板。 | ||
內置反射光源:100-120/220-240V~1,9/0,9,50/60Hz | |||
能耗 | |||
體積/重量 | 體積:約710(寬)×843(長)×507(高)mm 重量:約51kg(載物臺約重31kg) | ||
奧林巴斯顯微鏡明暗場顯微鏡
奧林巴斯顯微鏡明暗場顯微鏡






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